【技术实现步骤摘要】
本技术涉及化学液加热器，特别是涉及一种聚四氟乙烯PFA化学液加热器。
技术介绍
半导体器件工业在化学腐蚀及清洗工艺中广泛使用各种加热器来加热各种化学液和去离子水，实现工艺要求的腐蚀清洗。典型的加热器为一包覆PFA塑料的 电热丝,作为加热体并盘成螺旋状组成加热器。在实际使用中螺旋状态的电热丝分 布不均匀，使得加热丝密处发热量集中易产生高温，特别是在加热碱性化学液时因 其在高温处更易结晶加剧了加热丝密处的温度上升。极易损坏电热丝的PFA包覆 层。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提 供一种聚四氟乙烯PFA化学液加热器。本技术的目的可以通过以下技术方案来实现 一种聚四氟乙烯PFA化学 液加热器，其特征在于，包括四根氟塑料螺杆、四个连接柱、加热丝以及超高温保 护传感器，所述的四根氟塑料螺杆通过四个连接柱连接成加热框架，所述的加热丝 均匀等间隙盘绕于加热框架的氟塑料螺杆上，所述的超高温保护传感器与加热丝热 连接，所述的加热丝上包覆有PFA塑料层。所述的氟塑料螺杆的截面呈十字形，其周缘上均匀设有槽，所述的加热丝盘绕 于槽上。所述的超高温...
【技术保护点】
一种聚四氟乙烯ＰＦＡ化学液加热器，其特征在于，包括四根氟塑料螺杆、四个连接柱、加热丝以及超高温保护传感器，所述的四根氟塑料螺杆通过四个连接柱连接成加热框架，所述的加热丝均匀等间隙盘绕于加热框架的氟塑料螺杆上，所述的超高温保护传感器与加热丝热连接，所述的加热丝上包覆有ＰＦＡ塑料层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：倪党生，孙义荣，
申请(专利权)人：上海思恩电子技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[]
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