光波导路基板及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种光波导路基板及其制造方法，该光波导路基板具有利用简单的结构和工序就可将光学部件埋入由树脂制成的光波导路层内部的结构，并且具有可使光波导路层表面平坦化的结构。该光波导路基板包括：基板；在基板上沿着互相交叉的方向延伸的第一和第二芯部；具有使在第一和第二芯部之中的一个芯部中传递的光向另一个芯部反射的反射面的光学部件。光波导路层具有以夹住光学部件的状态保持该光学部件的第一和第二支承部。这些第一和第二支承部分别由与第一和第二芯部相同的材料制成，而且与该第一和第二芯部一起形成于基板的主面上。另外，光学部件与第一和第二芯部一起由包层部覆盖。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
为了使在光纤等光传送媒体中传送的光进行分支或耦合，目前使用光波导路基板。例如，埋入型的光波导路基板是在由Si等制成的基板上具有由传递光用的芯子和覆盖该芯子的包层构成的聚合物制的光波导路层。在这种光波导路基板上，有时与芯子长度方向交叉地设置有波长过滤器等光学部件。通常，光学部件在插入在例如光波导路基板的规定位置上形成的槽中的状态下被固定。例如，在以下的专利文献1～6中公开了具有上述结构的光波导路基板。多数现有的光波导路基板，通过在基板上形成的光波导路层上作出由刻模制造的槽，并将光学部件插入该槽中，从而将该光学部件固定在光波导路层和基板上。另外，在以下的专利文献7中公开了当将光学部件(光学过滤器)插入刻模槽时，将用于矫正光学部件弯曲的压入件与光学部件一起插入刻模槽的方法。作为上述以外的结构例子，在以下的专利文献8中公开了以在二块光波导路基板之间夹住光学部件(滤光片)的状态进行固定的光合分波器。专利文献1特开平11-38240专利文献2特开平11-52150专利文献3特开平11-287916专利文献4特开2000-131527专利文献5特开2000-75155专利文献6特开2002-243960专利文献7特开2002-303772专利文献8特开2005-77933本专利技术者们研究了上述现有的光波导路基板，结果发现了以下这些问题。即，上述专利文献中所述的多数现有的光波导路基板，利用紫外线固化树脂等粘接剂，将光学部件固定在刻模槽中。然而，如上述专利文献2所述，在光波导路基板中所使用的粘接剂中，具很充分的耐湿性、耐热性的少，使光波导路基板的可靠性受到损害。另外，当在光波导路基板的表面上产生由光学部件或粘接剂造成的凹凸时，难以稳定地将例如光电二极管等光学器件放置在光波导路基板上。为了解决现有的光波导路基板所存在的这些问题，本专利技术者们提出了将光学部件埋入由树脂制成的光波导路层内部的光波导路基板。通过将光学部件埋入光波导路层的内部，可以提供具有耐湿性和耐热性、同时可靠性优异的光波导路基板。另外，由于能够将光波导路层的表面作得平坦，所以可以稳定地将光电二极管等器件放置在光波导路基板上。但是，在光波导路层由树脂构成的情况下，为了均匀地调整层厚，多数是利用例如旋涂这样的方法来涂布形成光波导路层。因此，当将光学部件埋入光波导路层内时，最好是预先将光学部件保持在规定位置，以便不致将光学部件冲走。另外，即使在不使用旋涂法的情况下，由于当光学部件的位置偏移时，光学部件和芯子的光耦合效率降低，所以最好是当将光学部件埋入光波导路层内时，预先将该光学部件保持在规定位置。在上述专利文献7中，通过与压入件一起将光学过滤器压接在槽内，从而将该光学过滤器固定在基板上。然而，采用这种固定方法，除了因需要另外的压入件而使部件数增加以外，也存在将光学部件插入槽中的作业需要费工夫或时间等问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种，该光波导路基板具有通过简单的结构和工序、能够将光学部件埋入由树脂制成的光波导路层内部的结构，同时，具有能够使光波导路层表面平坦化的结构。为了解决上述问题，本专利技术的光波导路基板包括具有主面的基板、设置在该基板主面上的光波导路层和光学部件。光波导路层是设置在基板的主面上由树脂制成的层，它具有沿第一方向延伸的第一芯部、沿着与该第一方向交叉的第二方向延伸的第二芯部和覆盖该第一和第二芯部的包层部。光学部件具有反射规定波长的光的反射面。另外，光学部件设置在基板的主面上，使反射面将在第一和第二芯部中的一个芯部中传递的光向另一个芯部反射。特别是，在本专利技术的光波导路基板中，光波导路层还具有以夹住光学部件的状态来保持该光学部件的第一和第二支承部。该第一和第二支承部分别由与第一和第二芯部相同的材料制成而且与该第一和第二芯部一起在基板的主面上形成。另外，光学部件与第一和第二芯部一起由包层部覆盖。在具有上述结构的该光波导路基板上，光波导路层具有以相互之间夹入光学部件的状态来保持该光学部件的第一和第二支承部。而且，该第一和第二支承部用与第一和第二芯部相同的材料制成，而且与该第一和第二芯部一起在基板的主面上形成。因此，在基板的主面上同时形成第一芯部、第二芯部、第一支承部和第二支承部后，在第一支承部和第二支承部之间夹入光学部件的状态下(第一和第二支承部将光学部件保持在规定位置的状态)，可形成由树脂制成的包层部，以便同时覆盖第一芯部、第二芯部、第一支承部、第二支承部和光学部件。这样，采用该光波导路基板，由于能够利用可简易形成的第一支承部和第二支承部保持光学部件，并用包层部覆盖该光学部件，所以即使在利用例如旋涂形成包层部的情况下，也可以利用简单的结构将光学部件埋入光波导路层内部，而不会被树脂冲走。由此，可得到容易制造、具有耐湿性和耐热性、可靠性高的光波导路基板。另外，与用粘接剂将光学部件固定在槽中的现有光波导路基板不同，在本专利技术的光波导路基板中，由于用包层部覆盖(埋入)光学部件，所以也容易使该光波导路基板表面平坦化。另外，在本专利技术的光波导路基板中，第一和第二支承部分别用与第一和第二芯部相同的材料制成，而且包含与第一和第二芯部一起在基板的主面上形成的部分。由于这样，利用形成第一和第二芯部时的掩模也同时形成第一和第二支承部，由此，可以高精度地调节第一和第二支承部相对于第一和第二芯部的形成位置。在这种情况下，采用该光波导路基板，可用少的工序，高精度地进行光学部件的定位。而且，在本专利技术的光波导路基板中，由于用覆盖第一和第二芯部的包层部也覆盖光学部件，故可以由包层部防止尘埃侵入第一芯部、第二芯部和光学部件的反射面的间隙中，同时，该间隙可用包层部填埋。在这种情况下，采用该光波导路基板，可省去将折射率调整用的粘接剂等注入光学部件和芯部的间隙中的工序。在这种情况下，可不增加制造工序中，可有效地减少第一和第二芯部与光学部件间的光损失。本专利技术的光波导路基板可包括具有二种包层部的光波导路层。即，该光波导路基板包括具有主面的基板、设置在基板的主面上由树脂制成的光波导路层和光学部件。光波导路层具有沿着互相交叉的方向延伸的第一和第二芯部、覆盖该第一和第二芯部的第一包层部、和覆盖该第一包层部和光学部件的第二包层部。这时，在光波导路层，第一包层部具有收容光学部件的光学部件收容槽、和在光学部件收容槽侧面上形成的以相互之间夹入光学部件状态保持该光学部件的第一和第二支承部。在具有上述结构的该光波导路基板中，第一包层部具有以相互间夹入光学部件的状态来保持该光学部件的第一和第二支承部。因此，对于在主面上与第一和第二芯部一起形成第一包层部的基板，形成由树脂制成的第二包层部，以便覆盖以夹入第一支承部和第二支承部之间的状态保持于光学部件收容槽内的光学部件的同时覆盖第一包层部。在这种情况下，采用该光波导路基板，能够利用可简单地形成的第一和第二支承部保持光学部件，并能够用第二包层部覆盖该光学部件。即使在利用例如旋涂形成第二包层部的情况下，也可以利用简单的结构将光学部件埋入光波导路层内部，而不会被树脂冲走。其结果是，可得到容易制造、同时具有耐湿性的耐热性、而且可靠性高的光波导路基板。另外，与用粘接剂将光学部件固定在槽中的现有光波导路基板不同，在本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波导路基板，它包括：具有主面的基板；设置在所述基板的所述主面上且由树脂制成的光波导路层，该光波导路层具有沿着第一方向延伸的第一芯部、沿着与该第一方向交叉的第二方向延伸的第二芯部、和覆盖该第一和第二芯部的包层部；和　 　具有反射规定波长的光的反射面的光学部件，该光学部件配置在所述基板的所述主面上，使得在所述第一和第二芯部之中的一个芯部中传递的光通过所述反射面向另一个芯部反射；其特征在于：所述光波导路层还具有以夹入状态保持所述光学部件的第一和第二支 承部，该第一和第二支承部分别由与所述第一和第二芯部相同的材料制成，并且与该第一和第二芯部一起形成于所述基板的所述主面上，所述光学部件与所述第一和第二芯部一起由所述包层部覆盖。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：能野隆文，柴山胜己，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]