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一种含Cu离子的光波导制造技术

技术编号:2664016 阅读:207 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种含Cu离子的光波导。在玻璃基片上表面设有平板状Cu离子扩散区,在平板状Cu离子扩散区中设有条形高极化率离子扩散区,条形高极化率离子扩散区作为光波导的芯层,条形高极化率离子扩散区的折射率高于玻璃基片的折射率,也高于平板状Cu离子扩散区的折射率。由于条形高极化率离子扩散区在平板状Cu离子扩散区的基础上形成,这种离子交换光波导具有Cu离子的蓝绿发光特性。同时这种光波导的制作过程中避免了高温条件下Cu盐离子交换形成条形光波导的离子交换过程,对掩膜的要求降低,因此具有更低的成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成光器件技术,特别是涉及一种含Cu离子的光波导。技术背景集成光路是指在同一块衬底的表面上,用折射率略高的材料制作光波导, 并以此为基础再制作光源、光栅等各种光学器件。通过这种集成化,可以实现 光学系统的小型化、轻量化、稳定化和高性能化的目的。随着现代光纤通信技 术和光纤传感技术的发展,集成光器件越来越受到人们的重视。用于集成光器件制作的材料主要有si、 二氧化硅、砷化镓磷化铟等m-v族 半导体材料,聚合物、玻璃等。基于离子交换技术的玻璃光波导器件具有成本低、工艺简单、传输损耗低、PDL (偏振相关性)小、制作容差性大、可批量生产等显著特点。玻璃基光波导器件一般采用离子交换法制作。离子交换过程中,玻璃基片中的一价阳离子(通常是Na+)与外界的较高极化率的离子(譬如Ag+, Cu+, Cs+或Tl+)进行离子交换,高极化率离子在玻璃基片上形成离子交换区,该离 子交换区具有较高的折射率,形成波导的芯部。近年来,采用Cu离子交换制作的光波导器件的制作成为近年来研究者们关 注的热点。Cu离子交换形成的光波导具有蓝绿发光特性,因而Cu离子交换平 面波导可以用于非线性光波导器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种含Cu离子的光波导,其特征在于:在玻璃基片(1)上表面设有平板状Cu离子扩散区(4),在平板状Cu离子扩散区(4)中设有条形高极化率离子扩散区(5),作为光波导的芯层,条形高极化率离子扩散区(5)的折射率高于玻璃基片(1)的折射率,也高于平板状Cu离子扩散区(4)的折射率。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郝寅雷毛小丹杨建义江晓清周强李锡华王明华
申请(专利权)人:浙江大学
类型:发明
国别省市:86[中国|杭州]

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