光波导元件及多联光波导元件制造技术

本发明专利技术提供通过目测容易识别光回路及波导图案的光波导元件及多联光波导元件。涉及本发明专利技术的光波导元件及多联光波导元件（１０）在包覆光回路（２６）及石英玻璃基片（２１）的包层（２３）的上面至少在周缘部或整个面上接合了设置有光反射膜（２９）的透明片（２４）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在石英玻璃基片上设置光回路的光波导元件及在石英玻璃基片上设置多个光回路的多联光波导元件。
技术介绍
作为光学器件，有在石英玻璃基片上设置光回路的同时，设置包覆该光回路及石英玻璃基片的包层，进一步在该包层表面接合用于保护光元件端面的透明板(例如石英玻璃)的光波导元件。如图4所示，通过在石英玻璃基片51上设置多个光回路56(在图4中是5个)及切断时作为切开基准的波导图案57(在图4中是4个)，设置包覆该光回路56、波导图案57、石英玻璃基片51的包层53，并使用切断用锯沿波导图案57切断在该包层53的表面上接合了透明片54的多联光波导元件40，完成光波导元件。专利文献1特开2001-18光波导元件3538号公报然而，在多联光波导元件40中，颠倒了图4的沿5-5线的剖面图的上下面的图如图5所示，若将石英玻璃基片51、光回路56及波导图案57、包层53及透明片54全部用石英玻璃(SiO2)构成，则由于多联光波导元件40无色透明，因此，光L2几乎完全透过。其结果，作业人员很难通过目测识别、确认波导图案57及光回路56。
技术实现思路
鉴于这种情况而首创的本专利技术的目的在于，提供通过目测容易识别光回路及波导图案的光波导元件及多联光波导元件。为了达到上述目的，涉及本专利技术的光波导元件在由石英玻璃基片、用于在该石英玻璃基片上传播光信号的多个光回路、包覆该光回路及上述石英玻璃基片的包层以及与该包层表面接合而设置的透明片构成的光波导元件中，至少在上述透明片的接合面的周缘部或整个面上设置了光反射膜。还有，涉及本专利技术的多联光波导元件在由石英玻璃基片、用于在该石英玻璃基片上传播光信号的多个光回路、包覆该光回路及上述石英玻璃基片的包层以及与该包层表面接合而设置的透明片构成的多联光波导元件中，至少在上述透明片的接合面的周缘部或整个面上设置了光反射膜。光波导元件及多联光波导元件的各个光反射膜由非金属材料或金属材料构成。根据本专利技术，每按各个光波导元件切断多联光波导元件时，发挥能够容易且可靠地切开的良好的效果。附图说明图1是涉及适于本专利技术的一个实施例的多联光波导元件的俯视图。图1(a)是在周缘部上设置了光反射膜的透明片的俯视图，图1(b)是未接合透明片的光波导元件的俯视图，图1(c)是颠倒接合有透明片的光波导元件上下面时的硅片一侧的俯视图。图2是图1(c)的沿2-2线的剖面图。图3是表示图1的一个变形例的立体图。图3(a)是多联光波导元件的立体图。图3(b)是切断图3(a)的多联光波导元件而成的多联光波导元件的立体图。图4是现有多联光波导元件的俯视图。图5是颠倒了图4的沿5-5线的剖面图的上下面的图。附图标记10—多联光波导元件、21—石英玻璃基片、22—波导、23—包层、24—透明片、26—光回路、28—接合面、29—光反射膜具体实施方式下面根据附图说明适于本专利技术的一个实施例。涉及适于本专利技术的一个实施例的多联光波导元件的俯视图如图1所示。图1(a)是在周缘部上设置了光反射膜的透明片的俯视图，图1(b)是未接合透明片的光波导元件的俯视图，图1(c)是颠倒了接合有透明片的光波导元件上下面时的硅片一侧的俯视图。还有，图1(c)的沿2-2线的剖面图如图2所示。如图1(a)～图1(c)、图2所不，涉及本专利技术的实施例的多联光波导元件10，通过在石英玻璃基片21上设置由石英类波导22构成的多个光回路26(在图1(c)中是5个)及切断时作为切开基准的多个波导图案27(在图1(c)中是4个)，设置包覆该光回路26、波导图案27、石英玻璃基片21的包层23，并在该包层23的表面上接合在周缘部上设置光反射膜29的透明片24(例如由石英玻璃构成)而构成。通过做成这种结构，透明片24的接合面28的周缘部成为光反射区域(图1(c)中的网状部分)。这里，由于随设置于透明片24的接合面28一侧的光反射膜29的面积增加，有包层23与透明片24之间的接合力渐渐地降低的危险，因此，理想的是，将光反射膜29设置在透明片24的接合面28一侧的周缘部上。光反射膜29由非金属材料即非结晶型硅(a-Si)或硅(Si)等组成。还有，光反射膜29也可以由金属材料即金(Au)、钛(Ti)或铝(Al)等构成。若作为光反射膜29的构成材料使用非金属材料即非结晶型硅或硅等，则由于与光波导元件的材料即石英之间的线膨胀系数相近，因此，具有光波导元件的翘曲较小并能够防止对光学特性及可靠性的不良影响等特征。还有，若作为光反射膜29的构成材料使用金属材料，则由于其反射率优于非金属材料，因此，具有容易目测确认的特征。作为形成光反射膜29的方法，可举出CVD法、真空蒸镀法或阴极真空喷镀法等。至于光反射膜29的厚度，只要是能够充分反射光L1(参见图2)的厚度，则不做特别限定，但理想的是做成0.05～2.0μm，更为理想的是做成0.1～1.0μm。这是由于若光反射膜29的厚度过厚则包层23与透明片24之间的接合性降低之故。作为石英玻璃基片21、波导22、包层23及透明片24的材料，可应用作为光导波用的石英材料惯用的所有材料，因此，对此不做特别限定。下面说明涉及本专利技术的多联光波导元件10的作用。如图1(a)～图1(c)所示，在多联光波导元件10中，在透明片24的接合面28一侧的周缘部上设置有光反射膜29。该光反射膜29带色彩，用于反射光线。因此，如图2所示，从多联光波导元件10的石英玻璃基片21入射的光L1在光反射膜29被反射。此时，如图1(c)所示，波导图案27的各个端部17及光回路26的各个端部16位于光反射膜29的上面。由于光回路26、波导图案27及包层23(参见图2)其折射率相异，因此，在反射该光线时，在各个端部16、17和包层23上，波导的可见方式即色彩、色调相异。因此，当作业人员从石英玻璃基片21一侧观察多联光波导元件10时，通过光反射能够容易地识别、确认各个端部16、17。其结果，通过作业人员在将多联光波导元件10的石英玻璃基片21一侧朝上的状态下，通过以波导图案27的各个端部17作为基准进行切断，能够容易且可靠地按各个光波导元件(例如在图1(c)中是1×4的光分离)进行切断。还有，由于不仅是波导图案27的各个端部17，连光回路26的各个端部16也能目测识别，因此，即使因某种不良情况使得目测识别波导图案27的各个端部17困难，也能按各个光波导元件进行切断。在涉及本实施例的多联光波导元件10中，对于在透明片24的接合面28一侧的整个周缘部上设置了光反射膜29的情况进行了说明，但如图1(c)所示，只要在能够目测识别波导图案27的各个端部17及光回路26的各个端部16或至少波导图案27的各个端部17或至少光回路26的各个端部16的范围内设置光反射膜29即可，因此，对此不做特别限定。例如，由于具有多联光波导元件10的切开部(即各个端部16、端部17)的两个端面(在图1(c)中是左右端面)不具有各个端部16、17，因此，不特别需要光反射膜29。因此，在透明片24的接合面28一侧的周缘部上且只在与切开两端面对应的一侧设置光反射膜29也可以。由此，能够降低光反射膜29的原料成本。还有，在涉及本实施例的多联光波导元件10中，对于在包层23的整个面上设置了透明片24的情况进行了说明，但透明片24未本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波导元件，由石英玻璃基片、用于在该石英玻璃基片上传播光信号的多个光回路、包覆该光回路及所述石英玻璃基片的包层以及与该包层表面接合而设置的透明片构成，其特征在于，至少在所述透明片的接合面的周缘部或整个面上设置光反射膜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：石川弘，白田知之，堀江诚，铃木仁，
申请(专利权)人：日立电线株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]