光波导制造技术

本发明专利技术实施例提供了一种光波导，包括：依次堆叠的衬底(01)、埋氧层(02)、波导层(06)、包层(03)和防潮层(05)；所述防潮层(05)覆盖所述包层(03)表面上的至少部分区域，所述至少部分区域包括与所述波导层(06)正对的区域。本发明专利技术实施例的光波导，通过在包层表面设置防潮层，能够提高光波导的防潮性能，以减少湿度变化对该光波导的模场分布和模场大小的影响。

optical waveguide

Including the embodiment of the invention provides an optical waveguide substrate sequentially stacked buried oxide layer (01), (02), (06) waveguide layer and cladding (03) and moisture-proof layer (05); the moistureproof layer (05) covering the clad layer (03) at least part of the region on the surface, the at least part comprises a waveguide layer (06) is the region. The optical waveguide of the embodiment of the invention can improve the moisture-proof property of the optical waveguide by setting a moisture-proof layer on the surface of the clad layer, so as to reduce the influence of the humidity change on the mode field distribution and the mode field size of the optical waveguide.

【技术实现步骤摘要】
光波导
本专利技术涉及光通信领域，尤其涉及一种光波导。
技术介绍
硅光技术是以绝缘体上硅(Silicon-on-insulator，SOI)作为基础材料，利用互补金属氧化物半导体(ComplementaryMetalOxideSemiconductor，CMOS)工艺进行制作光芯片，实现光电信号转化的技术。如图1所示，SOI由衬底(Substrate)、埋氧层(BuriedOxide，Box)和波导层(Waveguidelayer)构成，其中衬底的材料为Si，埋氧层的材料为SiO2，波导层的材料为Si。由于SiO2的折射率比较小(约为1.44)，而Si的折射率很大(约为3.47)，因此SOI波导的折射率差很大，对光的限制很强，其波导可以尺寸很小，典型的波导尺寸是400nm×220nm。现有方案中，通常还会在SOI波导的波导层上设置包层，包层一般采用SiO2材料，由于在该SOI波导所处环境的湿度变化的情况下，SiO2材料的折射率会发生改变，相应的，采用该SiO2材料的包层的折射率也会发生改变，进而导致光波导的模场分布和模场大小发生变化。
技术实现思路
本专利技术提供了一种光波导，用于在该光波导所处环境的湿度变化的情况下，减小该光波导的模场分布和模场大小的变化幅度，以减少湿度变化对该光波导的模场分布和模场大小的影响。第一方面，提供了一种光波导，包括：依次堆叠的衬底(01)、埋氧层(02)、波导层(06)、包层(03)和防潮层(05)；所述防潮层(05)覆盖所述包层(03)表面上的至少部分区域，所述至少部分区域包括与所述波导层(06)正对的区域。本专利技术实施例的光波导，通过在包层表面设置防潮层，能够提高光波导的防潮性能，以减少该光波导所处环境的湿度变化对该光波导的模场分布和模场大小的影响。在一些可能的实现方式中，所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面的至少部分区域，所述波导层(06)覆盖所述埋氧层(02)的第一表面的第一区域，所述包层(03)覆盖所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的至少部分区域和所述波导层(06)，其中，所述衬底(01)的第一表面为所述衬底(01)上靠近所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述埋氧层(02)的第一表面为所述埋氧层(02)上远离所述衬底(01)的一侧的表面。在一些可能的实施方式中，所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面，所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的区域包括第二区域、第三区域、第四区域和第五区域，所述第二区域与所述第三区域之间间隔所述第五区域，所述第三区域和第四区域均与所述第一区域相邻，所述第三区域位于所述第一区域的一侧，所述第四区域位于所述第一区域的另一侧；所述包层(03)包括第一包层(031)和第二包层(032)，所述第一包层(031)覆盖所述第二区域，所述第二包层(032)覆盖所述第三区域、所述波导层(06)和所述第四区域；所述防潮层(05)覆盖所述第一包层(031)的第一表面的至少部分区域、所述第二包层(032)的第一表面、所述第一包层(031)上靠近所述第二包层(032)的侧壁、所述第二包层(032)上靠近所述一包层(031)的侧壁以及所述第五区域，其中，所述第一包层(031)的第一表面为所述第一包层(031)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述第二包层(032)的第一表面为所述第二包层(032)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面。这样，防潮层(05)还能够覆盖第二包层(032)的侧壁，防止了水汽从包层的侧壁沁入，能够进一步提高光波导的防潮性能，以进一步减少该光波导所处环境的湿度变化对该光波导的模场分布和模场大小的影响。在一些可能的实施方式中，所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面，所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的至少部分区域包括第二区域、第三区域和第四区域，所述第三区域和第四区域均与所述第一区域相邻，所述第三区域位于所述第一区域的一侧，所述第四区域位于所述第一区域的另一侧；所述埋氧层(02)上具有凹槽，所述凹槽的槽口的朝向背离所述衬底(01)，所述第二区域位于所述凹槽的第一内侧壁的一侧，所述第三区域、所述第一区域和所述第四区域位于所述凹槽的第二内侧壁的一侧，所述凹槽的第一内侧壁与所述第二凹槽的第二内侧壁是相对的，所述包层(03)包括第一包层(031)和第二包层(032)，所述第一包层(031)覆盖所述第二区域，所述第二包层(032)覆盖所述第三区域、所述波导层(06)和所述第四区域；所述防潮层(05)覆盖所述第一包层(031)的第一表面的至少部分区域、所述第二包层(032)的第一表面、所述第一包层(031)上靠近所述第二包层(032)的侧壁、所述第二包层(032)上靠近所述第一包层(031)的侧壁以及所述凹槽的内表面，其中，所述第一包层(031)的第一表面为所述第一包层(031)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述第二包层(032)的第一表面为所述第二包层(032)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述凹槽的内表面包括所述第一内侧壁、所述第二内侧壁和所述凹槽的底面。这样，防潮层(05)还能够覆盖埋氧层(02)上的凹槽的内表面，能够进一步提高光波导的防潮性能，以进一步减少该光波导所处环境的湿度变化对该光波导的模场分布和模场大小的影响。在一些可能的实施方式中，所述衬底(01)的第一表面包括第六区域、第七区域和第八区域，所述第六区域与所述第七区域之间间隔所述第八区域；所述埋氧层(02)包括第一埋氧层(021)和第二埋氧层(022)，所述第一埋氧层(021)覆盖所述第六区域，所述第二埋氧层(022)覆盖所述第七区域，所述波导层(06)覆盖所述第二埋氧层(02)的第一表面的第一区域，所述第二埋氧层(022)的第一表面为所述第一埋氧层(022)上远离所述衬底(01)的一侧的表面；所述包层(03)包括第一包层(031)和第二包层(032)，所述第一包层(031)覆盖所述第一埋氧层(021)的第一表面，所述第二包层(032)覆盖所述波导层(06)和所述第二埋氧层(022)的第一表面上除所述第一区域之外的区域，所述第一埋氧层(021)的第一表面为所述第一埋氧层(021)上远离所述衬底(01)的一侧的表面；所述防潮层(05)覆盖所述第一包层(031)的第一表面的至少部分区域、所述第二包层(032)的第一表面、所述第一包层(031)上靠近所述第二包层(032)的侧壁、所述第二包层(032)上靠近所述第一包层(031)的侧壁、所述第一埋氧层(021)上靠近所述第二埋氧层(022)的侧壁、所述第二埋氧层(022)上靠近所述第一埋氧层(021)的侧壁以及所述第八区域，其中，所述第一包层(031)的第一表面为所述第一包层(031)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述第二包层(032)的第一表面为所述第二包层(032)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面。这样，防潮层(05)还能够覆盖波导层(06)所在的第二埋氧层(022)的两侧侧壁，能够进一步提高光波导的防潮性能，以进一步减少该光波导所处环境的湿度变化对该光波导的模场分布和模场大小的影响。在一些可能的实施方式中，所述包层(03)覆盖所述埋氧层(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波导，其特征在于，包括：依次堆叠的衬底(01)、埋氧层(02)、波导层(06)、包层(03)和防潮层(05)；所述防潮层(05)覆盖所述包层(03)表面上的至少部分区域，所述至少部分区域包括与所述波导层(06)正对的区域。

【技术特征摘要】
1.一种光波导，其特征在于，包括：依次堆叠的衬底(01)、埋氧层(02)、波导层(06)、包层(03)和防潮层(05)；所述防潮层(05)覆盖所述包层(03)表面上的至少部分区域，所述至少部分区域包括与所述波导层(06)正对的区域。2.根据权利要求1所述的光波导，其特征在于，所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面的至少部分区域，所述波导层(06)覆盖所述埋氧层(02)的第一表面的第一区域，所述包层(03)覆盖所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的至少部分区域和所述波导层(06)，其中，所述衬底(01)的第一表面为所述衬底(01)上靠近所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述埋氧层(02)的第一表面为所述埋氧层(02)上远离所述衬底(01)的一侧的表面。3.根据权利要求2所述的光波导，其特征在于，所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面，所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的区域包括第二区域、第三区域、第四区域和第五区域，所述第二区域与所述第三区域之间间隔所述第五区域，所述第三区域和第四区域均与所述第一区域相邻，所述第三区域位于所述第一区域的一侧，所述第四区域位于所述第一区域的另一侧；所述包层(03)包括第一包层(031)和第二包层(032)，所述第一包层(031)覆盖所述第二区域，所述第二包层(032)覆盖所述第三区域、所述波导层(06)和所述第四区域；所述防潮层(05)覆盖所述第一包层(031)的第一表面的至少部分区域、所述第二包层(032)的第一表面、所述第一包层(031)上靠近所述第二包层(032)的侧壁、所述第二包层(032)上靠近所述第一包层(031)的侧壁以及所述第五区域，其中，所述第一包层(031)的第一表面为所述第一包层(031)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面，所述第二包层(032)的第一表面为所述第二包层(032)上远离所述埋氧层(02)的一侧的表面。4.根据权利要求2所述的光波导，其特征在于，所述埋氧层(02)覆盖所述衬底(01)的第一表面，所述埋氧层(02)的第一表面上除所述第一区域之外的至少部分区域包括第二区域、第三区域和第四区域，所述第三区域和第四区域均与所述第一区域相邻，所述第三区域位于所述第一区域的一侧，所述第四区域位于所述第一区域的另一侧；所述埋氧层(02)上具有凹槽，所述凹槽的槽口的朝向背离所述衬底(01)，所述第二区域位于所述凹槽的第一内侧壁的一侧，所述第三区域、所述第一区域和所述第四区域位于所述凹槽的第二内侧壁的一侧，所述凹槽的第一内侧壁与所述第二凹槽的第二内侧壁是相对的；所述包层(03)包括第一包层(031)和第二包层(032)，所述第一包层(031)覆盖所述第二区域，所述第二包层(032)覆盖所述第三区域、所述波导层(06)和所述第四区域；所述防潮层(05)覆盖所述第一包层(031)的第一表面的至少部分区域、所述第二包层(032)的第一表面、所述第一包层(031)上靠近所述第二包层(032)的侧壁、所述第二包层(032)上靠近所述第一包层...

【专利技术属性】
技术研发人员：费永浩，朱以胜，孙敏，
申请(专利权)人：华为机器有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44