一种双面探针结构及双面探针台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双面探针结构。所述双面探针结构包括，机架；第一探针架，通过导向滑轨连接于机架；第二探针架，通过导向滑轨连接于机架；调节螺杆，包括正旋螺纹段和反向螺纹段；所述正旋螺纹段螺接于第一探针架，所述反向螺纹段螺接于第二探针架；所述调节螺杆连接于机架；所述调节螺杆旋转，带动第一探针架和第二探针架沿导向滑轨相向运动/背离运动。

【技术实现步骤摘要】
一种双面探针结构及双面探针台
本技术涉及一种双面探针结构及双面探针台。
技术介绍
双面晶片的测试需要两组探针从两侧扎入并电连接晶粒，为了保证测试的稳定性，需要保证两组探针同时扎入并同时远离晶粒；当前市场上没有出现近似技术方案。
技术实现思路
为解决双面晶片测试时，保证两侧的探针同时扎入且同时远离的问题，本技术提出一种双面探针结构及双面探针台。本技术的技术方案为：一种双面探针结构，用于测试双面晶片，所述双面探针结构包括，机架；第一探针架，通过导向滑轨连接于机架；第二探针架，通过导向滑轨连接于机架；调节螺杆，包括正旋螺纹段和反向螺纹段；所述正旋螺纹段螺接于第一探针架，所述反向螺纹段螺接于第二探针架；所述调节螺杆连接于机架；所述调节螺杆旋转，带动第一探针架和第二探针架沿导向滑轨相向运动/背离运动。进一步的，所述调节螺杆连接于第一驱动部，所述第一驱动部带动调节螺杆旋转。进一步的，所述第二探针架包括，针部、从动部和位置调节部，所述从动部螺接于调节螺杆，且所述从动部连接于导向滑轨；所述针部通过所述位置调节部连接于从动部；所述位置调节部用于调节针部相对于第一探针架的位置。进一步的，所述位置调节部包括连接块和调节块，所述连接块和调节块通过调节滑块连接，所述连接块连接于从动部，所述调节块连接于针部；所述连接块螺接有调位螺杆，所述调位螺杆止抵于调节块，通过旋转所述调位螺杆调节所述调节块相对于第一探针架的位置。进一步的，所述位置调节部还包括锁紧螺钉和连接片；所述连接片设置有划位缺口，所述连接片固定于连接块；锁紧螺钉螺接于调节块，调节块相对于连接块运动过程中，锁紧螺钉沿划位缺口滑动，锁紧螺钉锁紧后将连接片相对于调节块固定。进一步的，所述针部包括，安装座，连接于位置调节部；第一探针部，通过第一翻转片连接于安装座；第二探针部，通过第二翻转片连接于安装座；所述第一探针部和第二探针部同时止抵于同一颗测试晶粒。进一步的，所述针部还包括，挡位部，连接于安装座；所述挡位部设置有导通凸起；所述第一探针部止抵于导通凸起，当第一探针部止抵晶粒后，所述第一探针部沿第一翻转片运动并远离导通凸起。进一步的，所述针部还包括受力控制部，所述受力控制部包括，调力螺杆、调力弹簧和止抵块；所述调力螺杆一端穿过第一探针部并螺接于挡位部；所述止抵块连接于调力螺杆远离挡位部的一端，所述调力弹簧沿调力螺杆压缩于止抵块和第一探针部之间。进一步的，所述针部还包括第一限位部，所述限位部包括螺纹拉杆，所述螺纹拉杆螺接于安装座，所述螺纹拉杆穿过第二探针部，并在远离安装座的一端连接有阻挡块，使第二探针部能够在阻挡块和安装座间沿螺纹拉杆运动。一种双面探针台，用于测试双面晶片，所述双面探针台包括上述双面探针结构。本技术的有益效果在于：将双面晶片设置于第一探针架和第二探针架之间，实现第一探针架上的探针和第二探针架上的探针同时点连接于测试晶粒，测试完成后同时远离晶粒，保证了对双面晶粒测试的稳定可靠。附图说明图1为本技术双面探针结构示意图；图2为调节螺杆示意图；图3为位置调节部示意图；图4为针部第一视角示意图；图5为针部第二视角示意图。具体实施方式为便于本领域技术人员理解本技术的技术方案，下面将本技术的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。如图1和图2所示，一种双面探针结构100，用于测试双面晶片，所述双面探针结构100包括，机架20；第一探针架31，通过导向滑轨40连接于机架20；第二探针架32，通过导向滑轨40连接于机架20；调节螺杆50，包括正旋螺纹段51和反向螺纹段52；所述正旋螺纹段51螺接于第一探针架31，所述反向螺纹段52螺接于第二探针架32；所述调节螺杆50连接于机架20；所述调节螺杆50旋转，带动第一探针架31和第二探针架32沿导向滑轨40相向运动/背离运动；由于对双面晶片测试，需要从晶片的两侧同时扎入探针，采用所述技术方案能够实现对第一探针架31和第二探针架32同时控制，当需要测试双面晶片时，控制调节螺杆50使第一探针架31和第二探针架32相向运动；测试完成后，控制调节螺杆50使第一探针架31和第二探针架32背离运动；所述方案结构简单，使用方便可靠。如图1和图2所示，所述调节螺杆50连接于第一驱动部60，所述第一驱动部60带动调节螺杆50旋转，所述第一驱动部60通过同步带连接于调节螺杆50，或者第一驱动部60通过联轴器连接于调节螺杆50，本领域技术人员还可能采用其它方案，以实现通过第一驱动部60控制调节螺杆50旋转的目的；便于实现对调节螺杆50的自动化控制，便于实现对双面晶片测试的全自动。如图1和图2所示，所述第二探针架32包括，针部321、从动部322和位置调节部323，所述从动部322螺接于调节螺杆50，且所述从动部322连接于导向滑轨40；所述针部321用于安装测试探针，所述针部321通过所述位置调节部323连接于从动部322；所述位置调节部323用于调节针部321相对于第一探针架31的位置；由于双面晶片测试时，需要第一探针架31和第二探针架32同时接触双面晶片，将针部321设置成能够相对于第一探针架31运动的结构，通过调节调节螺杆50，使第一探针架31满足测试要求，再通过调节位置调节部323，使第二探针架32的针部321满足测试要求，从而使第一探针架31和第二探针架32均处于满足测试要求的位置；结构方便可调，便于降低生产难度。如图1、图2和图3所示，所述位置调节部323包括连接块3231和调节块3232，所述连接块3231和调节块3232通过调节滑块3233连接，所述连接块3231连接于从动部322，所述调节块3232连接于针部321；所述连接块3231螺接有调位螺杆3234，所述调位螺杆3234止抵于调节块3232，通过旋转所述调位螺杆3234调节所述调节块3232相对于第一探针架31的位置；结构简单，方便可调。如图1、图2、图3、图4和图5所示，所述位置调节部323还包括锁紧螺钉3235和连接片3236；所述连接片3236设置有划位缺口32361，所述连接片3236固定于连接块3231；锁紧螺钉3235螺接于调节块3232，调节块3232相对于连接块3231运动过程中，锁紧螺钉3235沿划位缺口32361滑动，锁紧螺钉3235锁紧后将连接片3236相对于调节块3232固定；当调节块3232带动针部321运动到合适的位置后，通过所述锁紧螺钉3235实现定位，防止双面探针结构100在使用过程中，因振动造成调位螺杆3234滑丝，从而造成针部321位置不稳定，影响测试。如图1、图2、图3、图4和图5所示，所述针部321包括，安装座3211，连接于位置调节部3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双面探针结构，用于测试双面晶片，其特征在于：所述双面探针结构（100）包括，/n机架（20）；/n第一探针架（31），通过导向滑轨（40）连接于机架（20）；/n第二探针架（32），通过导向滑轨（40）连接于机架（20）；/n调节螺杆（50），包括正旋螺纹段（51）和反向螺纹段（52）；所述正旋螺纹段（51）螺接于第一探针架（31），所述反向螺纹段（52）螺接于第二探针架（32）；所述调节螺杆（50）连接于机架（20）；所述调节螺杆（50）旋转，带动第一探针架（31）和第二探针架（32）沿导向滑轨（40）相向运动/背离运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种双面探针结构，用于测试双面晶片，其特征在于：所述双面探针结构（100）包括，
机架（20）；
第一探针架（31），通过导向滑轨（40）连接于机架（20）；
第二探针架（32），通过导向滑轨（40）连接于机架（20）；
调节螺杆（50），包括正旋螺纹段（51）和反向螺纹段（52）；所述正旋螺纹段（51）螺接于第一探针架（31），所述反向螺纹段（52）螺接于第二探针架（32）；所述调节螺杆（50）连接于机架（20）；所述调节螺杆（50）旋转，带动第一探针架（31）和第二探针架（32）沿导向滑轨（40）相向运动/背离运动。


2.根据权利要求1所述的双面探针结构，其特征在于：所述调节螺杆（50）连接于第一驱动部（60），所述第一驱动部（60）带动调节螺杆（50）旋转。


3.根据权利要求1所述的双面探针结构，其特征在于：所述第二探针架（32）包括，针部（321）、从动部（322）和位置调节部（323），所述从动部（322）螺接于调节螺杆（50），且所述从动部（322）连接于导向滑轨（40）；所述针部（321）通过所述位置调节部（323）连接于从动部（322）；所述位置调节部（323）用于调节针部（321）相对于第一探针架（31）的位置。


4.根据权利要求3所述的双面探针结构，其特征在于：所述位置调节部（323）包括连接块（3231）和调节块（3232），所述连接块（3231）和调节块（3232）通过调节滑块（3233）连接，所述连接块（3231）连接于从动部（322），所述调节块（3232）连接于针部（321）；
所述连接块（3231）螺接有调位螺杆（3234），所述调位螺杆（3234）止抵于调节块（3232），通过旋转所述调位螺杆（3234）调节所述调节块（3232）相对于第一探针架(31)的位置。


5.根据权利要求4所述的双面探针结构，其特征在于：所述位置调节部（323）还包括锁紧螺钉（3235）和连接片（3236）；
所述连接片（3236）设置有划位缺口（32361），所述连接片（3236）固定于连接块（3231）；
锁紧螺钉（3235）螺接于调节块（3232），调节块（3232）相对于连接块（3231）运动...

【专利技术属性】
技术研发人员：林生财，肖乐，吴芳，王胜利，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44