基于双旋转微镜的光学扫描探针制造技术

一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，它包括双旋转微镜，微光学系统和硅光学平台，其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤；硅光学平台用于校准和固定微光学系统，并为双旋转微镜提供电气连接；经过微光学系统传输和聚焦的入射光束经双旋转微镜偏转90度后垂直入射到成像目标，由成像目标反射回来的光束经双旋转微镜偏转90度后由微光学系统收集并传输到外部光学成像系统。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于二维圆周扫描和三维螺旋扫描的光学扫描探针，特别是采用双旋转微镜作为光学扫描器件。
技术介绍
微型旋转光学扫描器件在光学内窥成像领域有很重要的应用。集成有微型旋转光学扫描器件的成像探针可在人体各种直径的管道(如血管，消化道等)内完成360度圆周扫描，从而获得二维横截面图像或三维螺旋扫描图像。通常，微型旋转光学扫描器件都采用基于压电或静电驱动原理的微型旋转电机。其直径一般为4-5mm左右，但其长度较长，严重影响其所在的成像探针的弯曲灵活性。为了克服其长度问题，世界上有些科研单位已研发了薄型超声波电机，但目前未见其大量应用；另一些研究组开发了采用硅微加工技术制造的扫描微镜，如新加坡Institute ofMicroelectronics开发的电热双轴扫描微镜及其在圆周扫描应用方面的探索。虽然目前单一电热双轴扫描微镜无法达到45度左右的机械偏转角度，但是采用双微镜组合令入射光线旋转2次后能够完美地将入射光线弯折90度以垂直入射成像目标。本技术提出一种用于二维圆周扫描和三维螺旋扫描的光学扫描探针，特别是采用双旋转微镜作为光学扫描器件，获得90度的光学反射角度，并完成360度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，其特征在于：包括双旋转微镜，微光学系统和硅光学平台，其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片；微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器，环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤；硅光学平台用于校准和固定微光学系统，并为双旋转微镜提供电气连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐英舜，
申请(专利权)人：凝辉天津科技有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：