【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种光驱动双轴光学扫描探针，特别是采用基于光电转换技术的扫描微镜作为光学扫描器件。
技术介绍
采用硅微加工技术制造的微型光学扫描器件在光学扫描，光学成像，激光投影等领域有非常重要的应用。特别是在光学内窥成像领域，集成有微型光学扫描器件的成像探针可在人体各种直径的管道(如血管，消化道等)内完成扫描，与外部的光学成像设备相结合，从而获得人体组织二维图像或三维图像。通常，微型光学扫描器件都采用铝或金导线键合技术在器件表面的焊盘与外部金属导线之间建立稳定可靠的电气连接，从而接收外部电驱动信号以完成扫描工作。金属引线键合工艺存在一定的失效风险。对于某些特殊应用，如上述的光学内窥成像应用，进入人体内的设备需要尽可能地简化设计以提供更佳的可靠性和安全性，并进一步缩小设备的体积。由于微型光学扫描器件用于光学扫描，必然会有激光光束投射到微型光学扫描器件的可动镜片表面，因此提供了采用光电转换技术将入射激光光束的部分能量转换为驱动微型光学扫描器件的电信号的可能性。本技术提出一种光驱动双轴光学扫描探针，特别是采用基于光电转换技术的光驱动扫描微镜作为光学扫描器件。
技术实现思路
本技术...
【技术保护点】
一种光驱动双轴光学扫描探针，其特征在于：扫描微镜，微光电系统和硅光学平台，其中扫描微镜包括微驱动器、平面弹簧和可动镜片，微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、4个平面弹簧和4个微驱动器，可动镜片与4个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；微光电系统包括单模光纤、自聚焦透镜、2片滤光片和2片光电池；硅光学平台用于校准和固定微光学系统，并为扫描微镜提供电气连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐英舜，
申请(专利权)人：凝辉天津科技有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：
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