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一种光驱动双轴光学扫描探针，它包括扫描微镜，微光电系统和硅光学平台，其中扫描微镜包括微驱动器、平面弹簧和可动镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、4个平面弹簧和4个微...
该专利属于凝辉(天津)科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过凝辉(天津)科技有限责任公司授权不得商用。

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