The invention provides an evaporation plating device and an evaporation plating device, which comprises a plurality of first containers for placing evaporation materials, a second container for mixing evaporation materials, a heater for heating evaporation materials, a first container including a first bottom plate, a first side wall, a first opening, a first bottom plate and a first side wall closed, a second container including a second bottom plate and a second bottom plate including a second bottom plate. The heater comprises a heating wire, which covers the first bottom plate, the first side wall and the second bottom plate. In the present invention, heat conduction between heater and evaporating material is more, heat radiation between heater and evaporating material is less, heat loss rate of heater is lower, heat utilization rate of heater is higher, and evaporating temperature is lower, chemical decomposition of evaporating material caused by higher evaporating temperature is avoided, and evaporating material is more pure deposited on display substrate. In addition, the pressure in the evaporation device is small, which helps to reduce the evaporation temperature.
【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置以及蒸镀设备
本专利技术涉及有机发光显示
,尤其涉及一种蒸镀装置以及一种蒸镀设备。
技术介绍
有机发光显示面板具有轻薄、省电等特性,广泛用于手机、电脑以及电视等显示装置。有机发光显示面板采用有机发光二极管实现显示,有机发光二极管包括空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层等的有机发光功能层,有机发光功能层一般通过蒸镀形成。但是,蒸镀有机发光功能层易于导致有机发光二极管的使用寿命较短。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本专利技术提供一种蒸镀装置以及一种蒸镀设备。一方面,一种蒸镀装置包括:用于放置蒸镀材料的多个第一容器;用于混合蒸镀材料的第二容器;及用于加热蒸镀材料的加热器;其中,所述第一容器包括第一底板、第一侧壁、第一开口,所述第一底板、所述第一侧壁封闭;所述第二容器包括第二底板,所述第二底板设有多个开孔,所述第一开口与所述开孔对接;所述加热器包括多条加热丝,多条所述加热丝覆盖所述第一底板、所述第一侧壁。可选地,所述蒸镀装置的蒸镀温度小于蒸镀材料的热分解温度。可选地,所述第二容器包括第二侧壁;多个所述第一容器的所述第一底板和所述第一侧壁的总表面面积大于所述第二容器的所述第二底板和所述第二侧壁的总表面面积。可选地,多个所述第一容器的所述第一底板和所述第一侧壁的总表面面积与所述第二容器的所述第二底板和所述第二侧壁的总表面面积之比大于等于1.05。可选地,所述第二容器包括第二侧壁;所述第一侧壁的高度与所述第二侧壁的高度之比大于等于1/2并且小于等于2/3。可选地,多个所述开孔的总表面面积与所述第二底板的表面面积之比大于等于1 ...
【技术保护点】
1.一种蒸镀装置,其特征在于,所述蒸镀装置包括,用于放置蒸镀材料的多个第一容器;用于混合所述蒸镀材料的第二容器;及用于加热所述蒸镀材料的加热器;其中,所述第一容器包括第一底板、第一侧壁、第一开口,所述第一底板、所述第一侧壁封闭;所述第二容器包括第二底板,所述第二底板设有多个开孔,所述第一开口与所述开孔对接;所述加热器包括多条加热丝,多条所述加热丝覆盖所述第一底板、所述第一侧壁。
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置,其特征在于,所述蒸镀装置包括,用于放置蒸镀材料的多个第一容器;用于混合所述蒸镀材料的第二容器;及用于加热所述蒸镀材料的加热器;其中,所述第一容器包括第一底板、第一侧壁、第一开口,所述第一底板、所述第一侧壁封闭;所述第二容器包括第二底板,所述第二底板设有多个开孔,所述第一开口与所述开孔对接;所述加热器包括多条加热丝,多条所述加热丝覆盖所述第一底板、所述第一侧壁。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述蒸镀装置的蒸镀温度小于所述蒸镀材料的热分解温度。3.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述第二容器包括第二侧壁;多个所述第一容器的所述第一底板和所述第一侧壁的总表面面积大于所述第二容器的所述第二底板和所述第二侧壁的总表面面积。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置,其特征在于,多个所述第一容器的所述第一底板和所述第一侧壁的总表面面积与所述第二容器的所述第二底板和所述第二侧壁的总表面面积之比大于等于1.05。5.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,所述第二容器包...
【专利技术属性】
技术研发人员:夏禹,张正川,王鹏,王淼,
申请(专利权)人:厦门天马微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:福建,35
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