The utility model discloses a water channel backboard for magnetron sputtering target, which comprises an upper backboard and a lower backboard. The lower end face of the upper backboard is provided with a first annular water channel, the front end of the first annular water channel is connected with a first water inlet and a first water outlet, the end face of the lower backboard is provided with a second annular water channel, and the front end of the second annular water channel is connected with a second water inlet and a first water outlet. The second outlet, the first annular channel and the second annular channel are double-line single spiral annular grooves with mirror image, the first annular channel and the second annular channel are combined to form a total channel, and the first inlet, the first outlet and the second inlet, the second inlet are combined to form a total inlet and a total outlet; the total channel of the utility model is double-line. The single spiral annular groove forms an annular loop, which ensures maximum contact area with the upper and lower backplanes, and maintains stable water pressure to ensure good cooling.
【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射靶材用水路背板
本技术涉及磁控溅射靶材背板
,具体是一种磁控溅射靶材用水路背板。
技术介绍
随着全球电子信息产业快速发展,平板显示行业的迅猛发展,平面显示面板尺寸要求不断扩大,这就要求溅射靶材尺寸也随之扩大,目前最大尺寸已达到3米X2米,这类靶材需要固定在背板上,通常是用流动性好且具有一定粘性的低合金金属做为焊料,由于磁控溅射过程中,激发源粒子在加速电场牵引下不断轰击靶材表面,动能转换成热能,靶材因此会积累大量热量,这些热量无法及时传递,进而引起靶材变形,甚至靶材会因过热而造成脱靶现象,影响镀膜生产,为此靶材整体温度必须严格控制在一定范围内,传统一般是在镀膜机上设计一个冷却水槽,让背板紧密贴住水槽,再通以循环冷却水冷却靶材,然而此类做法由于冷却水只和背板表面接触,对于背板厚度较厚的冷却效果一般,更无法满足大功率溅射用靶材,进一步加强靶材冷却效果是提高镀膜效率和质量的亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种磁控溅射靶材用水路背板,实现大功率溅射靶材在磁控溅射镀膜时具有优良的散热效果。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种磁控溅射靶材用水路背板,包括上背板和下背板,所述上背板下端面设置有第一环形水路槽,所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口,所述下背板上端面设置有第二环形水路槽,所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口,所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽,所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽,所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水 ...
【技术保护点】
1.一种磁控溅射靶材用水路背板,包括上背板和下背板,其特征在于:所述上背板下端面设置有第一环形水路槽,所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口,所述下背板上端面设置有第二环形水路槽,所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口,所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽,所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽,所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口,所述总入水口和总出水口内分别设置有出水阀快接头和入水阀快接头。
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射靶材用水路背板,包括上背板和下背板,其特征在于:所述上背板下端面设置有第一环形水路槽,所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口,所述下背板上端面设置有第二环形水路槽,所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口,所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽,所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽,所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口,所述总入水口和总出水口内分别设置有出水阀快接头和入水阀快接头。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶材用水路背板,其特征在于:所述上背板和下背板均由金属钼材料构...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈佳,陈宝忠,
申请(专利权)人:福建阿石创新材料股份有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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