The utility model relates to the field of sputtering coating, in particular to a rotating magnetron sputtering device, which comprises a vacuum box, a sealed cover plate horizontally arranged, a movable guide rod mechanism and a magnet rotating mechanism. The magnet rotating mechanism comprises a support plate horizontally arranged, a rotating motor, a rotating blade horizontally arranged, a connecting column, a magnet and a magnet seat, and a rotation of the utility model. When the equipment is working, the rotating motor drives the rotating blade to rotate, and the rotating blade slides through the strip groove and the cylindrical cam at the top of the connecting column, which drives the connecting column, magnet base and magnet to slide along the annular sliding groove on the surface of the sealing cover plate, so that the magnetic induction line at the bottom of the target is evenly distributed in the sputtering surface of the whole target, effectively reducing the solidity of the target. Over-etching of the fixed area of the target in a constant magnetic field makes the surface of the target uniformly etched, which greatly improves the utilization rate and service life of the planar target.
【技术实现步骤摘要】
一种旋转式磁控溅射装置
本技术涉及溅射镀膜领域,特别涉及一种旋转式磁控溅射装置。
技术介绍
溅射是制备薄膜材料的主要技术之一,它利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式,2013年的蒸发镀膜方式,其很多方面的优势相当明显。作为一项已经发展的较为成熟的技术,磁控溅射已经被应用于许多领域。目前广泛应用的平面靶材的利用率大概在25%,常规的设备在使用时,磁场的磁感应线在靶材的表面分布比较集中且不均匀,导致靶材表面这些磁感应线分布密集的部位刻蚀较快,而磁感应线分布系数的部位刻蚀缓慢,导致了平面靶材使用率底下,使用寿命缩短,因此有效的提高平面靶材的利用率和使用寿命成了当今行业的迫切需求。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的不足,提供一种旋转式磁控溅射装置。优选的,包括真空箱体、水平设置的密封盖板、移动导杆机构和磁铁旋转机构,所述密封盖板固定安装在真空箱体顶部,所述密封盖板顶部的四个拐角处分别设有竖直设置的第一支撑柱、第二支撑柱、第三支撑柱和第四支撑柱,所述移动导杆机构包括水平设置的第一滑道和第二滑道,所述第一滑道的两端分别与第一支撑柱和第二支撑柱固定连接,所述第二滑道的两端分别与第三支撑柱和第四支撑柱固定连接,所述第一滑道上设有与第一滑道滑动配合的第一伸 ...
【技术保护点】
1.一种旋转式磁控溅射装置,其特征在于:包括真空箱体(1)、水平设置的密封盖板(2)、移动导杆机构和磁铁(8)旋转机构,所述密封盖板(2)固定安装在真空箱体(1)顶部,所述密封盖板(2)顶部的四个拐角处分别设有竖直设置的第一支撑柱(2a)、第二支撑柱(2b)、第三支撑柱(2c)和第四支撑柱(2d),所述移动导杆机构包括水平设置的第一滑道(3)和第二滑道(4),所述第一滑道(3)的两端分别与第一支撑柱(2a)和第二支撑柱(2b)固定连接,所述第二滑道(4)的两端分别与第三支撑柱(2c)和第四支撑柱(2d)固定连接,所述第一滑道(3)上设有与第一滑道(3)滑动配合的第一伸缩杆(3c),第一伸缩杆(3c)水平设置,第一伸缩杆(3c)的轴线与第一滑道(3)的长度方向垂直,所述第二滑道(4)上设有与第二滑道(4)滑动配合的第二伸缩杆(4c),第二伸缩杆(4c)水平设置,第二伸缩杆(4c)的轴线与第二滑道(4)的长度方向垂直,所述磁铁(8)旋转机构包括水平设置的支撑板(5)、旋转电机(5a)、水平设置的旋转叶片(5b)、连接柱(6)、磁铁(8)和磁铁(8)座(7),所述支撑板(5)的四个拐角处设有 ...
【技术特征摘要】
1.一种旋转式磁控溅射装置,其特征在于:包括真空箱体(1)、水平设置的密封盖板(2)、移动导杆机构和磁铁(8)旋转机构,所述密封盖板(2)固定安装在真空箱体(1)顶部,所述密封盖板(2)顶部的四个拐角处分别设有竖直设置的第一支撑柱(2a)、第二支撑柱(2b)、第三支撑柱(2c)和第四支撑柱(2d),所述移动导杆机构包括水平设置的第一滑道(3)和第二滑道(4),所述第一滑道(3)的两端分别与第一支撑柱(2a)和第二支撑柱(2b)固定连接,所述第二滑道(4)的两端分别与第三支撑柱(2c)和第四支撑柱(2d)固定连接,所述第一滑道(3)上设有与第一滑道(3)滑动配合的第一伸缩杆(3c),第一伸缩杆(3c)水平设置,第一伸缩杆(3c)的轴线与第一滑道(3)的长度方向垂直,所述第二滑道(4)上设有与第二滑道(4)滑动配合的第二伸缩杆(4c),第二伸缩杆(4c)水平设置,第二伸缩杆(4c)的轴线与第二滑道(4)的长度方向垂直,所述磁铁(8)旋转机构包括水平设置的支撑板(5)、旋转电机(5a)、水平设置的旋转叶片(5b)、连接柱(6)、磁铁(8)和磁铁(8)座(7),所述支撑板(5)的四个拐角处设有供支撑柱顶端一一对应插接的安装槽(5c),所述支撑板(5)底部设有供连接柱(6)滑动的环形滑槽(10)(5d),旋转电机(5a)与支撑板(5)的顶部固定连接,旋转电机(5a)的输出端竖直朝下贯穿支撑板(5),所述旋转叶片(5b)为长条形板,旋转叶片(5b)的一端与旋转电机(5a)的输出端固定连接,所述旋转叶片(5b)设有和连接柱(6)顶端滑动配合的长条形通槽(5b1),磁铁(8)座(7)与连接柱(6)的底端固定连接,所述磁铁(8)与磁铁(8)座(7)的底部固定连接。2.根据权利要求1所述的一种旋转式磁控溅射装置,其特征在于:所述第一滑道(3)两端均设置有卡扣(9),第一滑道(3)两端分别通过卡扣(9)与第一支撑柱(2a)和第二支撑柱(2b)固定连接,所述第一滑道(3)包括有水平且间隔设置的第一上滑道(3a)和第一下滑道(3b),第一上滑道(3a)和第一下滑道(3b)沿长度方向均设置有长条形的滑槽(10)。3.根据权利要求2所述的一种旋转式磁控溅射装置,其特征在于:所述第一上滑道(3a)和第一下滑道(3b)之间设有轴承(11),第一上滑道(3a)的滑槽(10)设置在第...
【专利技术属性】
技术研发人员:张群,
申请(专利权)人:丽水市莲都区君正模具厂,
类型:新型
国别省市:浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。