一种磁控溅射靶材用水路背板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板和下背板，所述上背板下端面设置有第一环形水路槽，所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口，所述下背板上端面设置有第二环形水路槽，所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽，所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口；本实用新型专利技术的总水路槽为双线单螺旋环形槽形成环形回路，这样可以确保与上背板和下背板的最大化接触面积，又保持水压稳定，确保冷却良好。

A Waterway Backplane for Magnetron Sputtering Targets

The utility model discloses a water channel backboard for magnetron sputtering target, which comprises an upper backboard and a lower backboard. The lower end face of the upper backboard is provided with a first annular water channel, the front end of the first annular water channel is connected with a first water inlet and a first water outlet, the end face of the lower backboard is provided with a second annular water channel, and the front end of the second annular water channel is connected with a second water inlet and a first water outlet. The second outlet, the first annular channel and the second annular channel are double-line single spiral annular grooves with mirror image, the first annular channel and the second annular channel are combined to form a total channel, and the first inlet, the first outlet and the second inlet, the second inlet are combined to form a total inlet and a total outlet; the total channel of the utility model is double-line. The single spiral annular groove forms an annular loop, which ensures maximum contact area with the upper and lower backplanes, and maintains stable water pressure to ensure good cooling.

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射靶材用水路背板
本技术涉及磁控溅射靶材背板
，具体是一种磁控溅射靶材用水路背板。
技术介绍
随着全球电子信息产业快速发展，平板显示行业的迅猛发展，平面显示面板尺寸要求不断扩大，这就要求溅射靶材尺寸也随之扩大，目前最大尺寸已达到3米X2米，这类靶材需要固定在背板上，通常是用流动性好且具有一定粘性的低合金金属做为焊料，由于磁控溅射过程中，激发源粒子在加速电场牵引下不断轰击靶材表面，动能转换成热能，靶材因此会积累大量热量，这些热量无法及时传递，进而引起靶材变形，甚至靶材会因过热而造成脱靶现象，影响镀膜生产，为此靶材整体温度必须严格控制在一定范围内，传统一般是在镀膜机上设计一个冷却水槽，让背板紧密贴住水槽，再通以循环冷却水冷却靶材，然而此类做法由于冷却水只和背板表面接触，对于背板厚度较厚的冷却效果一般，更无法满足大功率溅射用靶材，进一步加强靶材冷却效果是提高镀膜效率和质量的亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种磁控溅射靶材用水路背板，实现大功率溅射靶材在磁控溅射镀膜时具有优良的散热效果。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板和下背板，所述上背板下端面设置有第一环形水路槽，所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口，所述下背板上端面设置有第二环形水路槽，所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽，所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口，所述总入水口和总出水口内分别设置有出水阀快接头和入水阀快接头。优选的，所述上背板和下背板均由金属钼材料构成，所述上背板下端面和下背板上端面的表面粗糙度不高于Ra1.6。优选的，所述上背板下端面与下背板上端面的四周边线处和第一环形水路槽与第二环形水路槽的槽边处均设置有斜角，所述斜角具体为C3倒角。优选的，所述上背板下端面四个角落位置分别设置有第一定位销槽，所述下背板上端四个角落处对应第一定位销槽位置分别设置有第二定位销槽，所述第一定位销槽和第二定位销槽尺寸相同。优选的，所述上背板和下背板之间设置有密封垫，所述密封片具体为导热硅胶片。与现有技术相比，本技术的有益效果是：（1）、本技术的上背板和下背板均采用金属钼材质，硬度高、热膨胀系数小，有效减少应热膨胀带来的背板变形导致的溅射镀膜质量下降；（2）、本技术采用上背板下端面和下背板上端面的第一环形水路槽和第二环形水路槽的槽边和四周边缘均加工有倒角，可以最小化尺寸精加工上背板下端面和下背板上端面，最大化填充焊料，节省加工成本；（3）、本技术的总水路槽为双线单螺旋环形槽形成环形回路，这样可以确保与上背板和下背板的最大化接触面积，又保持水压稳定，确保冷却良好。附图说明图1为本技术的上背板立体结构示意图；图2为本技术的下背板立体结构示意图；图3为本技术的上背板和下背板安装爆炸图；图4为本技术的总水路槽的结构示意图；图5为本技术的实施例二的总水路槽的结构示意图。图中：1-上背板；11-第一环形水路槽；12-第一入水口；13-第一出水口；14-第一定位销槽；2-下背板；21-第二环形水路槽；22-第二入水口；23-第二出水口；23-第二定位销槽；3-出水阀快接头；4-入水阀快接头；5-斜角；6-密封垫；7-定位销。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1、图2、图3和图4，本技术实施例一中，一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板1和下背板2，上背板1下端面设置有第一环形水路槽11，第一环形水路槽11前端连通有第一入水口12和第一出水口13，下背板2上端面设置有第二环形水路槽21，第二环形水路槽21前端连通有第二入水口22和第二出水口23，第一环形水路槽11和第二环形水路槽21为镜像设置的双线单螺旋环形槽，确保与上背板1和下背板2的最大化接触面积，又保持水压稳定，确保冷却良好，第一环形水路槽11和第二环形水路槽21结合形成总水路槽，第一入水口12、第一出水口13和第二入水口22、第二入水口22结合形成总入水口和总出水口，总入水口和总出水口内分别设置有出水阀快接头3和入水阀快接头4，方便水管的接入，提高安装效率；请参阅图1和图2，上背板1和下背板2均由金属钼材料构成，上背板1下端面和下背板2上端面的表面粗糙度不高于Ra1.6，金属钼材质，硬度高、热膨胀系数小，有效减少应热膨胀带来的背板变形导致的溅射镀膜质量下降；请参阅图1、图2、图3和图4，上背板1下端面与下背板2上端面的四周边线处和第一环形水路槽11与第二环形水路槽21的槽边处均设置有斜角5，斜角5具体为C3倒角，可以最小化尺寸精加工上背板1下端面和下背板上端面2，最大化填充焊料，节省加工成本；请参阅图1和图2，上背板1下端面四个角落位置分别设置有第一定位销槽14，下背板2上端四个角落处对应第一定位销槽14位置分别设置有第二定位销槽24，第一定位销槽14和第二定位销槽24尺寸相同，方便安装和焊接时的定位，减少应焊接错位导致的密封不良，提高安装位的精度；请参阅图3，上背板1和下背板2之间设置有密封垫6，密封片具体为导热硅胶片，增加上背板1和下背板2的导热效果，防止因上背板1和下背板2的变形导致的上背板1下端面和下背板2上端面两端面的间隙变大而引起的总水路槽的混合，同时防止因上背板1下端面和下背板2上端面两端面的间隙变大导致的上背板1和下背板2的导热效率的降低，提高了散热效率。请参阅图5，本技术实施例二中，本实施例和实施例一并无其他区别，区别在于总水道槽的结构不同，一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板1和下背板2，上背板1下端面设置有第一环形水路槽11，第一环形水路槽11前端连通有第一入水口12和第一出水口13，下背板2上端面设置有第二环形水路槽21，第二环形水路槽21前端连通有第二入水口22和第二出水口23，第一环形水路槽11和第二环形水路槽21为镜像设置的同心双圆环槽首尾相连接形成的同心圆环水路槽，确保与上背板1和下背板2的最大化接触面积，又保持水压稳定，确保冷却良好，第一环形水路槽11和第二环形水路槽21结合形成总水路槽，第一入水口12、第一出水口13和第二入水口22、第二入水口22结合形成总入水口和总出水口，总入水口和总出水口内分别设置有出水阀快接头3和入水阀快接头4，方便水管的接入，提高安装效率。以上实施例中的一种磁控溅射靶材用水路背板的制造方法，该磁控溅射靶材用水路背板包括上背板1和下背板2，其至少包括以下方法中的至少一种：（1）、分别粗铣上背板1和下背板2的上端面和下端面；（2）、改用铣槽刀分别精铣上背板1下端面的第一环形水路槽11、第一入水口12、第一出水口13、第一定位销槽14和下背板2上端面的第二环形水路槽21、第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板和下背板，其特征在于：所述上背板下端面设置有第一环形水路槽，所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口，所述下背板上端面设置有第二环形水路槽，所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽，所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口，所述总入水口和总出水口内分别设置有出水阀快接头和入水阀快接头。

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板和下背板，其特征在于：所述上背板下端面设置有第一环形水路槽，所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口，所述下背板上端面设置有第二环形水路槽，所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽，所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口，所述总入水口和总出水口内分别设置有出水阀快接头和入水阀快接头。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶材用水路背板，其特征在于：所述上背板和下背板均由金属钼材料构...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈佳，陈宝忠，
申请(专利权)人：福建阿石创新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35