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本实用新型公开了一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板和下背板，所述上背板下端面设置有第一环形水路槽，所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口，所述下背板上端面设置有第二环形水路槽，所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水...
该专利属于福建阿石创新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建阿石创新材料股份有限公司授权不得商用。

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