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本实用新型涉及溅射镀膜领域，特别涉及一种旋转式磁控溅射装置，包括真空箱体、水平设置的密封盖板、移动导杆机构和磁铁旋转机构，所述磁铁旋转机构包括水平设置的支撑板、旋转电机、水平设置的旋转叶片、连接柱、磁铁和磁铁座，本实用新型的一种旋转式磁控溅...
该专利属于丽水市莲都区君正模具厂所有，仅供学习研究参考，未经过丽水市莲都区君正模具厂授权不得商用。

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