【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及银合金靶材，尤其涉及一种复合强化的银合金靶材及其制备方法和应用。
技术介绍
1、有机发光二极管（oled）属于一种电流型的有机发光器件，是通过载流子的注入和复合而致发光的现象，发光强度与注入的电流成正比。有机发光二极管在电场的作用下，阳极产生的空穴和阴极产生的电子就会发生移动，分别向空穴传输层和电子传输层注入，迁移到发光层。当二者在发光层相遇时，产生能量激子，从而激发发光分子最终产生可见光。
2、作为oled制程的关键环节，所需的阳极材料同时要求具备高功函数与高反射率的特点。ito（氧化铟：氧化锡=90:10wt%）为广泛应用的透明导电薄膜，而银是反射率最高的金属薄膜之一，因此，目前广泛应用的阳极材料为“ito/ag/ito”复合薄膜。然而，由于纯银膜长期曝露于空气中易被氧化与硫化，纯银靶材也有低耐热性和低耐环境性的缺点，这使得纯银靶材形成的镀膜长期在空气中暴露容易氧化，使镀膜的导电性和反射率大大降低，与玻璃基板的粘结性变差，影响产品的最终使用性能。
3、银合金可以促使薄膜的耐候性更佳，避免复合薄膜在复杂环境下反射率与内部织构恶化。比如中国专利cn202111043720.2公开了一种银合金靶材及其制备方法和应用，银合金靶材对应制备的银合金薄膜虽然方块电阻较低，且粗糙度得到改善，但是反射率仅能够达到91%左右；再如中国专利cn201410245096.8公开了银合金靶材、其制造方法及应用该靶材的有机发光二极管，该银合金靶材虽然反射率较高，但是晶粒尺寸范围较大，不能实现细化晶粒，而晶粒尺寸较大
4、因此，亟需提供一种能够提高银合金薄膜的反射率、抗氧化性和耐蚀性的银合金靶材。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种能够提高银合金薄膜的抗氧化性和耐蚀性的复合强化的银合金靶材。
2、为了实现上述专利技术目的，本专利技术提供以下技术方案：
3、本专利技术提供了一种复合强化的银合金靶材，由包括以下重量份的原料制备得到：
4、银98.93~99.943份；
5、锌0.05~0.8份；
6、锗0.005~0.25份；
7、铜0.001~0.01份；
8、和锰0.001~0.01份。
9、优选地，由包括以下重量份的原料制备得到：
10、银99.165~99.59份；
11、锌0.1~0.8份；
12、锗0.008~0.15份；
13、铜0.001~0.01份；
14、和锰0.001~0.01份。
15、优选地，所述银的纯度不小于99.99%。
16、本专利技术还提供了上述技术方案所述复合强化的银合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
17、（1）将银、锌、锗、铜和锰真空熔炼后进行浇铸，得到铸锭；
18、（2）将所述步骤（1）得到的铸锭依次进行热锻、轧制、机加和绑定，得到复合强化的银合金靶材。
19、优选地，所述步骤（1）中真空熔炼的温度为1150~1250℃。
20、优选地，所述步骤（2）中热锻的温度为700~850℃。
21、优选地，所述步骤（2）中热锻的保温时间为2~4h。
22、优选地，所述步骤（2）中热锻的总变形量为60~70%。
23、优选地，所述步骤（2）中轧制的总压下率为70~90%。
24、本专利技术还提供了上述技术方案所述复合强化的银合金靶材或者本专利技术还提供了上述技术方案所述制备方法制备得到的复合强化的银合金靶材在有机发光二极管阳极材料中的应用。
25、本专利技术提供了一种复合强化的银合金靶材，由包括以下重量份的原料制备得到：银98.93~99.943份；锌0.05~0.8份；锗0.005~0.25份；铜0.001~0.01份；和锰0.001~0.01份。本专利技术通过在银靶材中添加入微量的标准电位较银低的锌、锗、铜和锰元素来改善银靶材的耐蚀性能；并且，锌、锗、铜和锰在银中固溶，具有提高晶粒的强度，防止再结晶化的作用，在后续的磁控溅射中处理也有抑制由热量引起的晶粒粗大造成的镀膜表面的粗糙度增大的作用，从而可以避免镀膜表面粗糙产生快速腐蚀而导致的反射率、耐蚀性和耐热性下降的不良后果。实施例结果显示，本专利技术提供的复合强化的银合金靶材的晶粒尺寸较小，能够达到39μm；抗氧化性测试能够达到40min，具有较高的抗氧化性；耐热性和耐蚀性测试结果表明具有优异的耐热性和耐蚀性；反射率能够达到96.2%。
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1.一种复合强化的银合金靶材，由包括以下重量份的原料制备得到：
2.根据权利要求1所述的复合强化的银合金靶材，其特征在于，由包括以下重量份的原料制备得到：
3.根据权利要求1或2所述的复合强化的银合金靶材，其特征在于，所述银的纯度不小于99.99%。
4.权利要求1~3任意一项所述复合强化的银合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中真空熔炼的温度为1150~1250℃。
6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中热锻的温度为700~850℃。
7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述热锻的保温时间为2~4h。
8.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中热锻的总变形量为60~70%。
9.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中轧制的总压下率为70~90%。
10.权利要求1~3任意一项所述复合强化的银合金靶材或者权利要求4~9任意一项所述制备方法制备
...【技术特征摘要】
1.一种复合强化的银合金靶材，由包括以下重量份的原料制备得到：
2.根据权利要求1所述的复合强化的银合金靶材，其特征在于，由包括以下重量份的原料制备得到：
3.根据权利要求1或2所述的复合强化的银合金靶材，其特征在于，所述银的纯度不小于99.99%。
4.权利要求1~3任意一项所述复合强化的银合金靶材的制备方法，包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中真空熔炼的温度为1150~1250℃。
6.根据权利要求4所述的制备方法，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯庆龙，鄢展圣，陈霖，李强，张科，陈钦忠，
申请(专利权)人：福建阿石创新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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