【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能硅片镀膜，特别涉及一种陶瓷管及石墨舟。
技术介绍
1、在光伏产业领域，管式pecvd是目前硅片镀膜工艺的一种常用设备，石墨舟作为硅片的载具广泛用于管式pecvd设备中，石墨舟是由若干石墨舟片平行设置而成，在石墨舟结构中，中间部分通过若干陶瓷棒通过两端的陶瓷螺母、陶瓷平垫和石墨弹垫串接后紧固连接，相邻石墨片之间通过陶瓷管相隔离，所述陶瓷管起绝缘作用；在石墨舟结构两端处，分成上下两部分，每部分通过一根陶瓷棒，石墨棒和中间的石墨隔块串接，所述石墨棒具有导电性能，将连接在此部分的石墨舟片导通，使得石墨舟在导入电极后，相邻两片舟片极性相反。不同规格的硅片放入舟片两侧的卡点处，在导入高频电源后，石墨舟片件产生辉光反应，使气体原子电离，产生离子体，加快膜层的生成。
2、管式pecvd的镀膜反应中，在镀膜过程中，隔离的陶瓷管也会被镀上薄膜，现有的陶瓷管在镀膜厚度达到一定程度后，会使舟片导通，无法产生等离子场。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种陶瓷管及石墨舟，解决了现有技术中陶瓷管在镀膜厚度达到一定程度后，会使舟片导通，无法产生等离子场的问题。
2、根据本技术实施例的陶瓷管，包括陶瓷管本体以及套接于所述陶瓷管本体上的多个第一环形凸起和多个第二环形凸起，所述第一环形凸起的外径大于所述第二环形凸起的外径，所述第一环形凸起与所述第二环形凸起交错间隔设置。
3、根据本技术实施例的陶瓷管，至少具有如下有益
4、在陶瓷管本体上套接多个第一环形凸起和多个第二环形凸起，第一环形凸起与第二环形凸起交错间隔设置，且第一环形凸起的外径大于第二环形凸起的外径，使得陶瓷管的外圈上凸出部分高矮交错设计，增加了相邻两个凸出的尖端的距离，使得陶瓷管镀上的膜厚度不均匀，由于陶瓷管是绝缘的，第一环形凸起与第二环形凸起之间很难形成电场，降低了膜层在第一环形凸起与第二环形凸起之间沉积的可能性，进而降低膜层在陶瓷管表面的沉积，降低导电可能性，降低石墨舟打弧风险，降低了石墨舟两舟片导通的频率。
5、根据本技术的一些实施例，所述第一环形凸起、所述第二环形凸起与所述陶瓷管本体同轴设置。
6、根据本技术的一些实施例，陶瓷管还包括设于所述陶瓷管本体两端的连接环，所述连接环与所述陶瓷管本体同轴设置，所述连接环的外径小于所述第二环形凸起的外径，所述连接环用于抵接石墨舟片。
7、根据本技术的一些实施例，所述连接环远离所述陶瓷管本体一端设置有多个缺口，所述缺口贯穿所述连接环的内圈和外圈。
8、根据本技术的一些实施例，多个所述缺口沿所述连接环的周向间隔均匀设置。
9、根据本技术的一些实施例，所述缺口的截面轮廓为半圆形。
10、根据本技术的一些实施例，一个所述连接环上设置有10-15个所述缺口。
11、根据本技术的一些实施例，所述第一环形凸起的数量比所述第二环形凸起的数量多一个，位于所述陶瓷管本体的两端为两个所述第一环形凸起。
12、根据本技术的一些实施例，所述第一环形凸起设置的数量设置为4-6个，所述第二环形凸起的数量设置为3-5个。
13、根据本技术的一些实施例，所述第一环形凸起的数量比所述第二环形凸起的数量少一个，位于所述陶瓷管本体的两端为两个所述第二环形凸起；
14、或，所述第一环形凸起的数量与所述第二环形凸起的数量一样多，位于所述陶瓷管本体的两端为所述第一环形凸起和所述第二环形凸起。
15、根据本技术的一些实施例，所述陶瓷管本体、所述第一环形凸起与所述第二环形凸起之间的空间形成间隙槽，多个所述间隙槽间隔设置。
16、根据本技术的一些实施例，所述间隙槽的底壁为圆弧面。
17、根据本技术的一些实施例，所述第一环形凸起与所述第二环形凸起的厚度一致，各所述间隙槽的宽度一致，所述间隙槽的宽度小于所述第一环形凸起的厚度。
18、根据本技术的一些实施例，所述陶瓷管的厚度范围为10-12mm，所述第一环形凸起的厚度范围为0.5-0.6mm，所述间隙槽的宽度范围为0.4-0.5mm，所述第一环形凸起的外径范围为14-18mm，所述第二环形凸起外径范围为12-15mm。
19、根据本技术实施例的石墨舟，包括：
20、多个所述陶瓷管；
21、多个石墨舟片，多个所述石墨舟片间隔设置，相邻两个所述石墨舟片之间设置有所述陶瓷管；
22、陶瓷棒，连接多个所述石墨舟片，相邻两个所述石墨舟片之间的所述陶瓷管套设在所述陶瓷棒上。
23、根据本技术实施例的石墨舟，至少具有如下有益效果：
24、陶瓷棒将多个石墨舟片连接在一起，相邻两个石墨舟片之间设置有陶瓷管，在陶瓷管本体上设置多个第一环形凸起和多个第二环形凸起，第一环形凸起与第二环形凸起交错间隔设置，且第一环形凸起的外径大于第二环形凸起的外径，使得陶瓷管的外圈上凸出部分高矮交错设计，增加了相邻两个凸出的尖端的距离，使得陶瓷管镀上的膜厚度不均匀，由于陶瓷管是绝缘的，第一环形凸起与第二环形凸起之间很难形成电场，降低了膜层在第一环形凸起与第二环形凸起之间沉积的可能性，进而降低膜层在陶瓷管表面的沉积，降低导电可能性，降低石墨舟打弧风险，降低了石墨舟两舟片导通的频率。
25、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.一种陶瓷管，其特征在于，包括陶瓷管本体以及套接于所述陶瓷管本体上的多个第一环形凸起和多个第二环形凸起，所述第一环形凸起的外径大于所述第二环形凸起的外径，所述第一环形凸起与所述第二环形凸起交错间隔设置。
2.根据权利要求1所述的陶瓷管，其特征在于，所述第一环形凸起、所述第二环形凸起与所述陶瓷管本体同轴设置。
3.根据权利要求1所述的陶瓷管，其特征在于，还包括设于所述陶瓷管本体两端的连接环，所述连接环与所述陶瓷管本体同轴设置，所述连接环的外径小于所述第二环形凸起的外径，所述连接环用于抵接石墨舟片。
4.根据权利要求3所述的陶瓷管，其特征在于，所述连接环远离所述陶瓷管本体一端设置有多个缺口，所述缺口贯穿所述连接环的内圈和外圈。
5.根据权利要求4所述的陶瓷管，其特征在于，多个所述缺口沿所述连接环的周向间隔均匀设置。
6.根据权利要求1所述的陶瓷管，其特征在于，所述第一环形凸起的数量比所述第二环形凸起的数量多一个，位于所述陶瓷管本体的两端为两个所述第一环形凸起。
7.根据权利要求1所述的陶瓷管，其特征在于，所述第
8.根据权利要求1所述的陶瓷管，其特征在于，所述陶瓷管本体、所述第一环形凸起与所述第二环形凸起之间的空间形成间隙槽，多个所述间隙槽间隔设置。
9.根据权利要求8所述的陶瓷管，其特征在于，所述第一环形凸起与所述第二环形凸起的厚度一致，各所述间隙槽的宽度一致，所述间隙槽的宽度小于所述第一环形凸起的厚度。
10.一种石墨舟，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种陶瓷管，其特征在于，包括陶瓷管本体以及套接于所述陶瓷管本体上的多个第一环形凸起和多个第二环形凸起，所述第一环形凸起的外径大于所述第二环形凸起的外径，所述第一环形凸起与所述第二环形凸起交错间隔设置。
2.根据权利要求1所述的陶瓷管，其特征在于，所述第一环形凸起、所述第二环形凸起与所述陶瓷管本体同轴设置。
3.根据权利要求1所述的陶瓷管，其特征在于，还包括设于所述陶瓷管本体两端的连接环，所述连接环与所述陶瓷管本体同轴设置，所述连接环的外径小于所述第二环形凸起的外径，所述连接环用于抵接石墨舟片。
4.根据权利要求3所述的陶瓷管，其特征在于，所述连接环远离所述陶瓷管本体一端设置有多个缺口，所述缺口贯穿所述连接环的内圈和外圈。
5.根据权利要求4所述的陶瓷管，其特征在于，多个所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李学文，刘兵吉，王凯，王晨光，张文，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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