The invention belongs to the field of semiconductor manufacturing technology, in particular to a wafer production process, which adopts a wet etching device, which comprises a first cylinder, a second cylinder and a baffle; a second cylinder is coaxially installed in the inner part of the first cylinder; the baffles are arranged in a circle in the inner part of the first cylinder, and the baffle will be arranged in a circle. The trumpet body is divided into a number of sealed silos, two sealed silos and three sealed silos. The wet etching device cooperates with the spiral plate through the second sliding telescopic rod with the first spring. During the vibration process of the spiral plate, the second sliding telescopic rod telescopes, and the wafer displaces. After the displacement, the clamping unit clamps the wafer again, so that the etching fluid etches the wafer evenly; at the same time, the spiral plate is shocked. By moving, the etching precipitate particles are separated from the wafer, and the contact between the etching solution and the wafer is increased, thus the etching effect is improved.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆的生产工艺
本专利技术属于半导体制造
,具体的说是一种晶圆的生产工艺。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的IC产品。晶圆的原始材料是硅,地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅。但是,传统晶圆生产刻蚀工艺中良莠不齐,总体都存在过程繁琐,成本高,优良率低的缺陷。现有技术中也出现了湿法刻蚀装置的技术方案,如申请号为201420593668.7的一项中国专利公开了一种湿法刻蚀装置,包括腐蚀槽和过滤器;所述腐蚀槽与每个过滤器通过第一、第二管道连接;所述第一、第二管道上分别对应设有第一、第二阀门;所述第一阀门与所述过滤器之间设有与所述第一管道相通的进液管;所述第二阀门与所述过滤器之间设有与所述第二管道相通的出液管。本专利技术的湿法刻蚀装置能够对刻蚀过程中的沉淀进行处理,但是该技术方案不能对不同尺寸的晶圆进行夹紧和刻蚀均匀,使得该技术方案受到限制。
技术实现思路
为了弥补现有技术的不足,本专利技术提出了一种晶圆的生产工艺,该工艺采用湿法刻蚀装置,该湿法刻蚀装置通过一号弹簧的二号滑动伸缩杆与螺旋板的相互配合,在螺旋板震动过程中,二号滑动伸缩杆伸缩,晶圆产生移位,移位后夹紧单元重新对晶圆夹持,使得刻蚀液对晶圆进行均匀刻蚀;同时,螺旋板的震动,使得刻蚀沉淀颗粒与晶圆分离,增大刻蚀液与晶圆的接触,从而提高了刻蚀效果。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:本专利技术提出了一种晶圆的生产工艺,该工 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆的生产工艺,其特征在于:该方法包括如下步骤:步骤一:将块状的复晶硅置于石英坩埚内,加热使其完全融化;步骤二:将步骤一中的硅熔浆温度稳定后依次进行晶种的颈部成长、晶冠成长、晶体成长和尾部成长;步骤三:将步骤二中的晶棒直径偏小的头、尾部裁切同时进行外径研磨;步骤四:将步骤三中的晶棒放入切片机中进行切片同时研磨;步骤五:将步骤四中的晶片放入到湿法刻蚀装置中进行蚀刻;步骤六:将步骤五中的晶片放入到清洗装置中彻底清洗、风干;其中,所述湿法刻蚀装置包括一号筒体(1)、二号筒体(2)和挡板(3);所述二号筒体(2)同轴安装在一号筒体(1)内部;所述挡板(3)的数量为八个且在一号筒体(1)内部呈圆周排列,挡板(3)将一号筒体(1)分割为一号密封仓(4)、二号密封仓(5)和三号密封仓(6),所述二号密封仓(5)一侧为一号密封仓(4)、二号密封仓(5)另一侧为三号密封仓(6);挡板(3)上设有通孔(31);所述一号密封仓(4)的数量为两个,一号密封仓(4)侧壁开设有一号滑槽(41),一号密封仓(4)内部设有挡液模块(42);所述二号密封仓(5)数量为四个,二号密封仓(5)内部固定安装刻蚀模块( ...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆的生产工艺,其特征在于:该方法包括如下步骤:步骤一:将块状的复晶硅置于石英坩埚内,加热使其完全融化;步骤二:将步骤一中的硅熔浆温度稳定后依次进行晶种的颈部成长、晶冠成长、晶体成长和尾部成长;步骤三:将步骤二中的晶棒直径偏小的头、尾部裁切同时进行外径研磨;步骤四:将步骤三中的晶棒放入切片机中进行切片同时研磨;步骤五:将步骤四中的晶片放入到湿法刻蚀装置中进行蚀刻;步骤六:将步骤五中的晶片放入到清洗装置中彻底清洗、风干;其中,所述湿法刻蚀装置包括一号筒体(1)、二号筒体(2)和挡板(3);所述二号筒体(2)同轴安装在一号筒体(1)内部;所述挡板(3)的数量为八个且在一号筒体(1)内部呈圆周排列,挡板(3)将一号筒体(1)分割为一号密封仓(4)、二号密封仓(5)和三号密封仓(6),所述二号密封仓(5)一侧为一号密封仓(4)、二号密封仓(5)另一侧为三号密封仓(6);挡板(3)上设有通孔(31);所述一号密封仓(4)的数量为两个,一号密封仓(4)侧壁开设有一号滑槽(41),一号密封仓(4)内部设有挡液模块(42);所述二号密封仓(5)数量为四个,二号密封仓(5)内部固定安装刻蚀模块(51);所述三号密封仓(6)数量为两个,三号密封仓(6)中设有一号进液口(61);所述二号筒体(2)底部开设有排液口(21),二号筒体(2)与一号密封仓(4)相交处侧壁开设有二号进液口(43);所述刻蚀模块(51)包括壳体(511)、三号导杆(512)和转动单元(513);所述壳体(511)上设有三号进液口(518);所述转动单元(513)通过三号导杆(512)固定安装在壳体侧壁上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆的生产工艺,其特征在于:所述挡液模块(42)包括一号滑块(421)、一号导杆(422)、浮动...
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