The invention discloses an integrated device for cleaning and drying silicon wafers, which comprises a movable frame with a control cabinet, a cylinder, a lifting device, an automatic cover plate and a cleaning trough. The lifting device is arranged in a box body, and a bracket for placing a silicon wafer bearing flower basket on one side of the box body. The lifting device comprises a driving motor, a screw rod, a connecting rod and a connecting sleeve. The driving motor is arranged on the bottom face of the box body. The driving motor rotates through a gear driving screw. A limit groove is arranged at the lower part of the screw rod, and a limit block matching the limit groove is arranged in the limit groove. The invention can realize the continuous movement of the silicon wafer to be cleaned up and down in the cleaning tank, improve the cleaning quality and cleaning efficiency of the silicon wafer, and increase the fluidity and turbulence of the cleaning fluid in the inner tank by injecting nitrogen into the inner tank through the bubbling mouth, thereby enhancing the cleaning effect and drying effect of the cleaning fluid on the surface of the silicon wafer.
【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗干燥一体化装置及其清洗方法
本专利技术属于硅片生产
,具体涉及一种硅片清洗干燥一体化装置及其清洗方法。
技术介绍
硅片在生产过程中,需要对硅片的表面进行清洗,现有的硅片清洗工艺普遍是将硅片放置在硅片承载花篮内采用清洗液进行浸泡清洗,或者通过流动水来冲洗承载花篮中的硅片,从而实现清洗液冲洗硅片的表面实现硅片的清洗。利用该工艺清洗时,因为硅片相对于硅片承载花篮几乎不产生运动,硅片承载花篮也不运动,单单依靠水流来冲洗硅片表面,清洗力度小,清洗速度慢,并且会致使硅片的表面清洗不均匀且很难清洗干净,而且难以使硅片表面快速干燥。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题,本专利技术提供一种硅片清洗干燥一体化装置及其清洗方法,能够大大提高硅片的清洗效率和清洗效果。为实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种硅片清洗干燥一体化装置,该装置包括可移动框架,在所述可移动框架中设有控制柜、气缸、升降装置、自动盖板和清洗槽,所述升降装置设置在箱体中,在箱体的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架,所述升降装置包括驱动电机、丝杆、连接杆、连接套筒,所述驱动电机设置在箱体的底端面上,所述驱动电机通过齿轮驱动丝杆旋转,在所述丝杆的下部设有限位槽,在所述限位槽中设有与限位槽相匹配的限位块,在所述丝杆上设有螺母,所述螺母的内螺纹与丝杆之间螺纹连接,所述螺母位于限位槽的上方,所述螺母与连接套筒固定连接,所述连接杆设置在连接套筒内部,所述连接杆与连接套筒之间固定连接,在所述连接套筒上设有延伸板,在所述延伸板上设有滑块固定孔,在延伸板上通过滑块固定孔固定有滑块,所述滑块与设置在箱体内 ...
【技术保护点】
1.一种硅片清洗干燥一体化装置,其特征在于,该装置包括可移动框架(1),在所述可移动框架(1)中设有控制柜(2)、气缸(3)、升降装置(4)、自动盖板(5)和清洗槽(6),所述升降装置(4)设置在箱体(7)中,在箱体(7)的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架,所述升降装置(4)包括驱动电机(403)、丝杆(404)、连接杆(405)、连接套筒(406),所述驱动电机(403)设置在箱体(7)的底端面上,所述驱动电机(403)通过齿轮驱动丝杆(404)旋转,在所述丝杆(404)的下部设有限位槽(407),在所述限位槽(407)中设有与限位槽(407)相匹配的限位块(408),在所述丝杆(404)上设有螺母(409),所述螺母(409)的内螺纹与丝杆(404)之间螺纹连接,所述螺母(409)位于限位槽(407)的上方,所述螺母(409)与连接套筒(406)固定连接,所述连接杆(405)设置在连接套筒(406)内部,所述连接杆(405)与连接套筒(406)之间固定连接,在所述连接套筒(406)上设有延伸板(410),在所述延伸板(410)上设有滑块固定孔(411),在延伸板(410)上通过滑 ...
【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗干燥一体化装置,其特征在于,该装置包括可移动框架(1),在所述可移动框架(1)中设有控制柜(2)、气缸(3)、升降装置(4)、自动盖板(5)和清洗槽(6),所述升降装置(4)设置在箱体(7)中,在箱体(7)的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架,所述升降装置(4)包括驱动电机(403)、丝杆(404)、连接杆(405)、连接套筒(406),所述驱动电机(403)设置在箱体(7)的底端面上,所述驱动电机(403)通过齿轮驱动丝杆(404)旋转,在所述丝杆(404)的下部设有限位槽(407),在所述限位槽(407)中设有与限位槽(407)相匹配的限位块(408),在所述丝杆(404)上设有螺母(409),所述螺母(409)的内螺纹与丝杆(404)之间螺纹连接,所述螺母(409)位于限位槽(407)的上方,所述螺母(409)与连接套筒(406)固定连接,所述连接杆(405)设置在连接套筒(406)内部,所述连接杆(405)与连接套筒(406)之间固定连接,在所述连接套筒(406)上设有延伸板(410),在所述延伸板(410)上设有滑块固定孔(411),在延伸板(410)上通过滑块固定孔(411)固定有滑块(412),所述滑块(412)与设置在箱体(7)内部的滑轨(402)相匹配;所述连接杆(405)的上端伸出箱体(7)的上端部与调整架(413)的一端相连,所述调整架(413)通过连接板(414)固定在连接杆(405)的顶端,所述调整架(413)的另一端设有连接轴(415),所述硅片承载花篮的支架包括连接板(416)和承载底板(417),在所述连接板(416)的背面设有固定套筒(418),固定套筒(418)套设并固定在连接轴(415)上,所述承载底板(417)上设有漏水孔(419)和凹槽,所述承载底板(417)上放置有硅片承载花篮(420),在所述硅片承载花篮(420)底部设有凸块,所述凸块和凹槽相互配合将硅片承载花篮(420)嵌设在承载底板(417)上;所述自动盖板(5)的下端设有支撑杆(501),所述支撑杆(501)与设置在可移动框架(1)上的底座(502)铰接,支撑杆(501)的另一端与气缸(3)的伸缩杆(301)之间活动连接,所述自动盖板(5)设置在清洗槽(6)的上方,所述自动盖板(5)上设有喷孔(504);所述清洗槽(6)包括内槽体(601)和外槽体(602),在所述内槽体(601)的底部设有清洗液进液口(603)和内槽排放口(604),在所述内槽排放口(604)设有废液排放管(605),在所述废液排放管(605)上通过三通接头连接有排风管(606)和内槽外排管,所述排风管(606)和内槽外排...
【专利技术属性】
技术研发人员:李杰,葛林五,陈景韶,葛林新,丁高生,
申请(专利权)人:上海提牛机电设备有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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