应用于夹取装置上的限位块制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种应用于夹取装置上的限位块，其中，所述限位块上设有限位槽，所述限位槽的两侧分别设有滤水侧壁，所述滤水侧壁上包括纵向设置的滤水间隙。采用该种结构的应用于夹取装置上的限位块，可使得液体和颗粒物可从滤水间隙中流过，有效避免大量液体和颗粒物附着在限位块上，避免液体在夹取装置的带动下滴的到处都是，提高生产过程中的安全性，该应用于夹取装置上的限位块结构简单，适用范围广泛。泛。泛。

【技术实现步骤摘要】
应用于夹取装置上的限位块


[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种应用于夹取装置上的限位块。

技术介绍

[0002]随着国家对半导体集成电流产业的大力投资和扶持，晶圆厂如雨后春笋般拔地而起，在半导体制造的整个流程中，光罩(mask)制造为从版图到晶圆制造中间的一个过程，这一部分时流程衔接的关键部分。在光罩的制造过程中需要对其进行清洁，若采用人工处理的方式将光罩从清洗容器中取出，长时间的重复劳动会使得操作人员十分疲惫，但若采用现有技术中的夹具直接进行夹取，液体会大量地附着在夹具上，十分不便，还存在安全隐患。

技术实现思路

[0003]针对上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种结构简单、滤水性好，适用范围广泛的应用于夹取装置上的限位块。
[0004]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种应用于夹取装置上的限位块，所述限位块上设有限位槽，所述限位槽的两侧分别设有滤水侧壁，所述滤水侧壁上包括纵向设置的滤水间隙。
[0006]在本技术一个优选实施例中，所述滤水侧壁为“V”型侧壁，即所述“V”型侧壁包括内倾斜壁和外倾斜壁，并在所述内倾斜壁和外倾斜壁的连接处形成尖头部；
[0007]所述限位槽两侧的两个所述“V”型侧壁的尖头部相对而设，且所述“V”型侧壁中的内倾斜壁与其附着面形成锐角，并由所述内倾斜壁与其附着面之间的间隙构成所述滤水间隙。
[0008]在本技术一个优选实施例中，所述限位块上还设有底板，所述底板上开设有第一通孔。
[0009]在本技术一个优选实施例中，所述限位块的顶部均呈斜面结构。
[0010]在本技术一个优选实施例中，所述限位块中不设所述限位槽的位置处还设有夹臂连接块。
[0011]在本技术一个优选实施例中，所述夹臂连接块设于所述限位块中与所述限位槽相背的一面，且所述夹臂连接块上设有第二通孔。
[0012]通过采用上述技术方案，本技术具有如下有益效果：
[0013]本技术的应用于夹取装置上的限位块上包括设有滤水侧壁的限位槽，这样的结构设计可使得夹取装置在从液体中夹取物体时，通过限位块对被夹持物进行限位，同时，减少附着在限位块上的液体及颗粒物，提升生产过程中的清洁度，避免液体在夹取装置的带动下滴的到处都是，提高生产过程中的安全性，该应用于夹取装置上的限位块结构简单，适用范围广泛。
附图说明
[0014]附图通过示例说明本技术，而非限制本技术。类似的附图标记指代类似的元件。
[0015]图1为一实施例中本技术的应用于夹取装置上的限位块的结构示意图；
[0016]图2为另一实施例中本技术的应用于夹取装置上的限位块的结构示意图；
[0017]图3为图2中的应用于夹取装置上的限位块的剖面图。
[0018]图4为一包括本技术的应用于夹取装置上的限位块的夹取装置的结构示意图。
[0019]附图标记
[0020]1ꢀꢀꢀꢀ
限位块
[0021]11
ꢀꢀꢀ
内倾斜壁
[0022]12
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外倾斜壁
[0023]13
ꢀꢀꢀ
底板
[0024]14
ꢀꢀꢀ
第一通孔
[0025]15
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夹臂连接块
[0026]16
ꢀꢀꢀ
第二通孔
[0027]2ꢀꢀꢀꢀ
夹臂
具体实施方式
[0028]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]在本技术使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本公开。在本公开和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。
[0030]下述实施例中提到的倾斜侧壁可以为完全平面的斜面构成，也可由曲面构成，该倾斜侧壁只需满足沿一定方向倾斜的要求即可。
[0031]本技术提供一种应用于夹取装置上的限位块1，该限位块1可用于对被夹持物进行限位，避免物品左右移动，同时，可避免过多的液体及颗粒物附着在限位块1上。如图1所示，该实施例中的应用于夹取装置上的限位块1上设有限位槽，所述限位槽的两侧分别设有滤水侧壁，所述滤水侧壁上包括纵向设置的滤水间隙。
[0032]通过滤水间隙的设计，可使得液体可从滤水间隙中流过，避免大量地附着在限位块1上。
[0033]在该实施例中，所述滤水侧壁为“V”型侧壁，即所述“V”型侧壁包括内倾斜壁11和外倾斜壁12(其中，朝向限位槽内侧的为内倾斜壁11，朝向限位槽外侧的为外倾斜壁12)，并在所述内倾斜壁11和外倾斜壁12的连接处形成尖头部；
[0034]所述限位槽两侧的两个所述“V”型侧壁的尖头部相对而设，且所述“V”型侧壁中的
内倾斜壁11与其附着面形成锐角，并由所述内倾斜壁11与其附着面之间的间隙构成所述滤水间隙。
[0035]即在该实施例中，限位块1中包括侧壁连接部及位于侧壁连接部两侧的滤水侧壁，由侧壁连接部和两侧的滤水侧壁之间形成的空间构成限位槽，由于滤水侧壁为“V”型侧壁，“V”型侧壁中的内倾斜壁11与其附着面(即侧壁连接部)之间的夹角为锐角，由此，使得所述内倾斜壁11与其附着面之间的间隙可构成所述滤水间隙。当采用该限位块1对物品(如光罩)进行限位时，可将物品固定在限位块1两侧的“V”型侧壁之间，由“V”型侧壁中的尖头部(在实际生产过程中可能因为生产工艺的关系该接触沿可能并非是一条直线，也可以是一个较窄的平面或弧面)与物品接触，这样使得，从水中夹取物品时，限位槽的侧壁尽可能小面积地与物品接触，水(或其它液体)及颗粒物可沿滤水间隙中流过。采用这种结构的限位块1，可很好地对物品进行固定，避免物品左右晃动，还可减少附着在限位块1上的液体，避免大量的液体附着在限位块1上，在夹取装置带动限位块1移动时，将液体及颗粒物带的到处都是。
[0036]如图2所示，在另一实施例中，所述限位块1上还设有底板13，所述底板13上开设有第一通孔14。(由于该实施例中的其它结构与图1中的限位块1的结构相同，因此，不再赘述)。该结构的限位块1除了可以限制物品的左右移动外，还可通过底板13限制物品滑落，而通过第一通孔14的设计，可使得水和颗粒物从第一通孔中流过，避免大量液体及颗粒物附着在限位块1上。
[0037]在该实施例中，第一通孔14位于滤水间隙下方，使得液体可以更容易地本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于夹取装置上的限位块，其特征在于，所述限位块上设有限位槽，所述限位槽的两侧分别设有滤水侧壁，所述滤水侧壁上包括纵向设置的滤水间隙。2.根据权利要求1所述的应用于夹取装置上的限位块，其特征在于，所述滤水侧壁为“V”型侧壁，即所述“V”型侧壁包括内倾斜壁和外倾斜壁，并在所述内倾斜壁和外倾斜壁的连接处形成尖头部；所述限位槽两侧的两个所述“V”型侧壁的尖头部相对而设，且所述“V”型侧壁中的内倾斜壁与其附着面形成锐角，并由所述内倾斜壁与其附着面之间的间隙构成所述滤水间隙。...

【专利技术属性】
技术研发人员：李杰，丁高生，葛林新，李守印，张子阳，
申请(专利权)人：上海提牛机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：