本发明涉及一种背照式影像传感器深沟槽刻蚀方法包括以下步骤，器件晶圆与逻辑晶圆键合后，对晶圆表面氧化物进行刻蚀,至露出四乙氧基硅层;在刻蚀后的表面上淀积一层隔离氧化物层;在隔离氧化层上依次形成底部抗反射层和低温氧化物层，并在低温氧化物层上...

本实用新型涉及影像传感器制造领域，具体涉及一种影像传感器结构。包括逻辑晶圆和器件晶圆,逻辑晶圆上设有有逻辑晶圆二氧化硅层,之上覆盖有逻辑晶圆顶层顶层金属,顶层金属上设有键合氧化物层,之上设有器件晶圆顶层金属，之上设有器件晶圆二氧化硅层,...

本实用新型提出一种晶圆允收测试设备，提供多个探针卡托盘，配合不同测试所需要的探针卡，通过机械臂对应的移至测试头下方，使同一晶圆在不同Recipe测试时，避免了打开测试腔体来更换探针卡的操作，使晶圆允收测试过程简单化，提高晶圆允收测试的每...

本实用新型提供了一种晶圆定位装置，包括环状底座、中空盖子、标准晶圆、摄像机、计算机和摄像机支架，所述中空盖子盖在所述环状底座上，所述环状底座固定安装在涂胶槽内，真空吸附式卡盘通过所述环状底座的中空部分与涂胶槽内的旋转电机相连，真空吸附式...

本实用新型公开了一种研磨垫拆卸工具，包括手柄和连接杆，所述连接杆的一端垂直连接于所述手柄的中部，所述连接杆上沿连接杆的纵向设有一长条形槽。本实用新型提供的研磨垫拆卸工具，结构简单、易于操作，使用时，先将研磨垫的一小部分卷起，插入到连接杆...

本实用新型公开了一种静电吸附盘安装工具，所述静电吸附盘通过若干螺钉安装于底座上，所述静电吸附盘上设有若干与所述螺钉相匹配的螺钉孔，所述静电吸附盘安装工具包括一圆盘状本体，所述圆盘状本体的直径大于或者等于所述静电吸附盘的直径，所述圆盘状本...

本发明涉及一种自对准阻挡层形成方法。本发明的自对准阻挡层形成过程中，在执行快速热退火工艺前沉积第一自对准阻挡层，在快速热退火工艺后沉积第二自对准阻挡层，从而，使得形成的第一自对准阻挡层和第二自对准阻挡层总自对准阻挡层相较于现有工艺变得疏...

本实用新型公开了一种用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构，所述反应腔室的腔壁上设有检测口，所述光谱仪包括检测窗，包括直角弯管和转接头和45度反射镜，所述转接头安装于所述反应腔室的检测口上，所述直角弯管的一端与所述转接头密封连接，另一端与所...

本实用新型的过滤装置包括外壳、设置在所述外壳内的过滤芯和连接部件、液体进口管和液体出口管，所述连接部件与所述过滤芯连接，所述液体出口管的一端与所述连接部件连接，所述液体出口管的另一端伸出所述外壳外，所述外壳为圆柱形容器，所述液体进口管的...

本实用新型公开了一种超声波清洗容器，包括外容器、内容器和若干液位传感器，所述内容器位于所述外容器的内部，还包括传感器调整定位机构，所述若干液位传感器通过传感器调整定位机构安装于所述外容器的外壁。本实用新型的超声波清洗容器，通过传感器调整...

本发明的目的在于提供一种平面TEM样品制取方法，包括：提供一包含待观测层的晶圆截块；做标记于所述待观测层上；将一玻璃粘贴于所述待观测层上；同时研磨所述晶圆截块及玻璃；切割所述晶圆截块得到平面TEM样品。通过本发明提供的平面TEM样品制取...

本发明公开了一种晶片清洗装置，所述晶片清洗装置包括：夹持装置、正面清洗单元以及背面清洗单元，所述夹持装置用于夹持并旋转晶片，所述晶片包括正面以及与正面相对的背面，所述正面清洗单元用于向所述晶片的正面喷吹气体，所述背面清洗单元用于向所述晶...

本实用新型提出一种晶舟清洗装置，用于清洗晶舟，所述晶舟清洗装置包括：清洗槽；用于承载晶舟的旋转盘，所述旋转盘设置在所述清洗槽底部；用于驱动所述旋转盘旋转的驱动装置，与所述旋转盘连接；设置在所述清洗槽内的喷管以及与所述喷管连通的若干喷头。...

本实用新型提供一种物理气相沉积主机台的传送腔，所述物理气相沉积主机台的传送腔包括传送腔体和传送腔盖，所述传送腔盖与传送腔体匹配，所述传送腔盖能够闭合或者打开，所述传送腔体上还设置有两个或者两个以上的定位销，在所述传送腔盖闭合时，所述定位...

本发明提供了一种管路系统以及管路系统泄露检测方法，所述管路系统包括第一管路、第二管路以及pH试纸，所述第二管路与所述第一管路连接，所述PH试纸设置于所述第一管路与所述第二管路的连接处，所述pH试纸可有效检测所述管路系统是否发生了化学试剂...

本发明公开了一种ICP-MS在线取样装置，该装置包括：框架、设置在所述框架内的管路连接系统以及管路控制系统，所述管路连接系统连接待测试的化学系统与ICP-MS取样针，所述管路控制系统对所述管路连接系统进行控制。同时本发明还公开了一种金属...

本发明提供了一种接触插塞底部轮廓的检测方法，该方法包括：提供一晶片，所述晶片包括形成有有源区的半导体基底、位于半导体基底上的第一介电层、贯穿第一介电层并与有源区电连接的接触插塞、形成于第一介电层和接触插塞上的第二介电层以及贯穿第二介电层...

本发明提供一种文件夹，包括：文件夹封面和装订装置，所述文件夹的封面脊部是可折叠伸缩的；所述装订装置的第一支撑杆、第二支撑杆、第三支撑杆、第四支撑杆为多节可伸缩结构。所述文件夹根据待装订文件的厚度，同时调整装订支撑杆第一支撑杆至第四支撑杆...

本发明公开了一种用于液体颗粒测试的适配装置，通过缓冲容器和排液单元的缓冲作用，降低液体从待测试液体系统的取样口到液体颗粒计数器的压力，从而能够使用一台液体颗粒计数器监测不同的待测试液体系统，同时由于适配装置使得到达液体颗粒计数器的液体与...

本发明提供一种改善再生晶圆表面性能的方法，包括：在含氮气的氛围内进行退火处理。还提供一种在再生晶圆上沉积富氧氧化硅薄膜的方法，包括：提供再生晶圆；将再生晶圆在含氮气的氛围内进行退火处理；在再生晶圆上沉积富氧氧化硅薄膜。采用所述方法之后，...