本发明专利技术实施例公开了一种冷却装置以及真空蒸镀设备，可以加速真空蒸镀设备蒸发源的冷却过程，减少真空蒸镀设备冷却所需时间，有效提高真空蒸镀设备的使用效率。本发明专利技术实施例的冷却装置，用于冷却真空蒸镀设备的蒸发源，冷却装置包括：若干个冷却单元；驱动单元，用于驱动冷却单元包覆蒸发源；设置于冷却单元内部的冷却管，冷却管包括至少一个冷却液进料口以及至少一个冷却液出料口。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术实施例公开了一种冷却装置以及真空蒸镀设备，可以加速真空蒸镀设备蒸发源的冷却过程，减少真空蒸镀设备冷却所需时间，有效提高真空蒸镀设备的使用效率。本专利技术实施例的冷却装置，用于冷却真空蒸镀设备的蒸发源，冷却装置包括：若干个冷却单元；驱动单元，用于驱动冷却单元包覆蒸发源；设置于冷却单元内部的冷却管，冷却管包括至少一个冷却液进料口以及至少一个冷却液出料口。【专利说明】冷却装置以及真空蒸镀设备
本专利技术涉及冷却系统，尤其涉及一种冷却装置以及真空蒸镀设备。
技术介绍
作为0LED显示装置制备过程中的一种重要制备设备，真空蒸镀设备用于在真空环境中，将材质加热蒸镀到基底上。因此，真空蒸镀设备其使用效率会对0LED显示装置的制备工艺正常运转产生影响。通常来说，以现有真空蒸镀设备为例，其蒸镀过程可描述为将待成膜的材质至于真空环境中并进行加入，从而令待成膜的材质蒸发或升华，进而在基底表面生长成膜结构。因此，现有技术真空蒸镀设备在完成一次蒸镀工艺后，通常需要较长时间等待蒸发源自然冷却至室温，而后才可以打开真空室进行更换材质填料等动作，并进行下一次蒸镀工艺。然而，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题:由于现有技术真空蒸镀设备在完成一次蒸镀工艺后需要等待蒸发源自然冷却，待蒸发源自然冷却至室温后才可以开启真空室，而现有的蒸发源自然冷却的冷却效率较低，需要耗费较长时间，最终会引起真空蒸镀设备使用效果低下。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种冷却装置以及真空蒸镀设备，可以加速真空蒸镀设备蒸发源的冷却过程，减少真空蒸镀设备冷却所需时间，有效提高真空蒸镀设备的使用效率。为解决上述技术问题，本专利技术的实施例采用如下技术方案:—种冷却装置，用于冷却真空蒸镀设备的蒸发源，所述冷却装置包括:若干个冷却单元；驱动单元，用于通过支架驱动所述冷却单元包覆所述蒸发源；设置于所述冷却单元内部的冷却管，所述冷却管包括至少一个冷却液进料口以及至少一个冷却液出料口。优选的，所述冷却管在所述冷却单元内部的排布形状呈Z字形。优选的，所述冷却管在所述冷却单元内部的排布形状呈U字形、圆环形、锯齿形中的任意一种或几种。进一步的，所述冷却装置还包括:制冷压缩机，所述制冷压缩机用于向所述冷却管内压入冷却液。进一步的，所述冷却液包括冷却水、液态二氧化碳、乙醇中的任意一种或几种。另一方面，本专利技术实施例还提供了一种真空蒸镀设备，包括上述所述的冷却装置。本专利技术实施例提供的一种冷却装置以及真空蒸镀设备，其中冷却装置中设置有冷却单元、驱动单元以及设置于冷却单元内部的冷却管。在真空蒸镀设备完成蒸镀工艺后，驱动冷却单元包覆蒸发源，从而加速真空蒸镀设备的冷却过程，提高该真空蒸镀设备的使用效率。【专利附图】【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种冷却装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例冷却装置中冷却管的排布示意图之一；图3为本专利技术实施例冷却装置中冷却管的排布示意图之二。【具体实施方式】 本专利技术实施例提供的一种冷却装置以及真空蒸镀设备，可以加速真空蒸镀设备蒸发源的冷却过程，减少真空蒸镀设备冷却所需时间，有效提高真空蒸镀设备的使用效率。以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、接口、技术之类的具体细节，以便透切理解本专利技术。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本专利技术。在其它情况中，省略对众所周知的装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本专利技术的描述。下面结合下述附图对本专利技术实施例做详细描述。本专利技术的实施例提供一种冷却装置，如图1所示，该冷却装置包括至少一个冷却单元1、用于驱动冷却单元1的驱动单元(图1中未示出)以及设置于冷却单元1内部的冷却管2。需要说明的是，举例而言，驱动单元可通过导轨以及支架驱动冷却单元1的位置移动，其具体驱动方式可由技术人员根据蒸发源10与冷却单元1的配合情况来决定。进一步的，冷却管2设置于冷却单元1的内部。具体的，例如，如图2所示，冷却管2在冷却单元1的内部呈Z字形的排布形状，从而在冷却单元1内均匀分布；或者，如图3所示，冷却管2在冷却单元1的内部呈锯齿形的排布形状。当然，冷却管2在冷却单元1内部还可以呈其他的排布形状，例如:U字形、圆环形等等。需要说明的是，在实际的制备过程中，冷却管2在冷却单元1内部排布的形状可以设置为任意形状，只要冷却管2均匀分布在冷却单元1的内部即可。当然，在任意一个冷却单元1中还可以设置多根冷却管2，从而进一步加快冷却单元的冷却效果。需要补充的一点是，上述描述的冷却管2中包括有至少一个冷却液进料口 21以及至少一个冷却液出料口 22 (参考图1，图1中冷却管2包括有一个冷却液进料口 21和一个冷却液出料口 22)。进一步对本专利技术实施例提供的一种冷却装置其工作过程进行一下描述。其中，以如图1所示冷却装置结构为例。当真空蒸镀设备在蒸镀工艺时，技术人员可利用驱动单元驱动冷却单元1，从而使得冷却单元1被离真空蒸镀设备的蒸发源10。此时冷却装置并不工作，真空蒸镀设备利用蒸发源10加热，进而完成对待成膜材质的加热蒸镀操作。进一步的，当蒸镀工艺结束后，技术人员可利用驱动单元驱动冷却单元1，从而使得冷却单元1包覆真空蒸镀设备的蒸发源10。需要说明的是，由于真空蒸镀设备其蒸发源10的形状以及冷却单元1的形状有多种可能的情况，因此，图1所示仅作为一种示例。本领域技术人员可以确定的是，冷却单元1与蒸发源10形状相互匹配且冷却单元1能够接触蒸发源10时，冷却装置的冷却效果最佳。此时，在驱动冷却单元1包覆蒸发源10后，由于冷却单元1内部的冷却管2中循环有冷却液，因此蒸发源10的热量会迅速的被冷却液带走，从而有效的缩短了真空蒸镀设备的冷却过程。需要说明的是，本专利技术实施例提供的冷却装置可在冷却完成后与蒸发源分离，从而便于开启真空室并完成相关的操作，例如:技术人员可以开启真空室进行更换衬底或者更换蒸发源的蒸镀材质等工艺步骤。此外，作为本专利技术实施例的一种优选实施方式，所述冷却装置还包括有制冷压缩机。制冷压缩机可用于在冷却真空蒸镀设备需要冷却时，向冷却管内压入冷却液，通过提高冷却液的循环速度，进一步提高冷却装置的冷却效果。其中，冷却液可以为冷却水、液态二氧化碳、乙醇以及其它可用于循环冷却用所需的液体，在此不做赘述。本专利技术实施例提供的一种冷却装置，其中冷却装置中设置有冷却单元、驱动单元以及设置于冷却单元内部的冷却管。在真空蒸镀设备完成蒸镀工艺后，驱动冷却单元包覆蒸发源，从而加速真空蒸镀设备的冷却过程，提高该真空蒸镀设备的使用效率。另一方面，本专利技术实施例还提供了一种真空蒸镀设备，该真空蒸镀设备中包括上述实施例提及的冷却装置。其中，关于真空蒸镀设备中包括的冷却装置其结构以及工作过程，可对应参照上述实施例中关于冷却装置的描述；而真空蒸镀设备的其它结构部分可以参照现有技术，在此不再赘述。本专利技术实施例提供的一种 冷却装置以及真空蒸镀设备，其中冷却本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种冷却装置，用于冷却真空蒸镀设备的蒸发源，其特征在于，所述冷却装置包括：若干个冷却单元；驱动单元，用于驱动所述冷却单元包覆所述蒸发源；设置于所述冷却单元内部的冷却管，所述冷却管包括至少一个冷却液进料口以及至少一个冷却液出料口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：焦志强，孙力，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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