一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台制造技术

一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，该线缆台所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束、一个柔性关节、一个Y方向直线气浮导轨滑块机构、一个X方向直线导轨滑块机构和一个X方向直线电机。所述的线缆台与平面电机动子没有硬连接，在X方向由大行程直线电机负责扫描方向驱动，另外在y方向则为一种直线电机加气浮轴承结构进行导向驱动。线缆台的沿X方向和沿Y方向的大行程测量采用线性光栅，精密测量采用两个光电位置探测器进行测量。该线缆台在沿X轴、沿Y轴和沿Z轴转动的三个自由度设置成自由的连接结构，避免了线缆束对平面电机动子运动的干扰，在满足了高运动精度和定位精度的要求同时，又简化了线缆台结构。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台
本技术涉及光刻机硅片台线缆台，该系统主要应用于半导体光刻机中，属于半导体制造设备
。
技术介绍
为了满足硅片台大行程和高速、高精度的苛刻要求，传统的线缆台通常采用工程塑料拖链正交叠层的结构。随着磁浮硅片台技术的发展，硅片台平面电机动子厚度逐渐变薄，电缆数量增加，采用工程塑料拖链正交叠层结构的线缆台在厚度上和宽度上逐渐到达极限，无法突破；另外，随着线缆数量的增加，线缆的重量也随之增加，对于硅片台平面电机动子的运动也造成了干扰，限制了硅片台平面电机动子的运动速度和精度，妨碍了其加速度的提高。
技术实现思路
为了降低线缆对硅片台运动的干扰，从而提高光刻机硅片台平面电机动子的速度、加速度和定位精度，进而促进光刻机的生产率、套刻精度和分辨率，本技术提供一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台。本技术的技术方案如下:一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，其特征在于:所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束、柔性关节、Y方向直线气浮导轨滑块机构、X方向直线导轨滑块机构和X方向直线电机；所述的线缆束与所述的X方向直线导轨滑块机构的滑块连接，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，其特征在于：所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束（8）、柔性关节（7）、Y方向直线气浮导轨滑块机构（6）、X方向直线导轨滑块机构（5）和X方向直线电机（9）；所述的线缆束（8）与所述的X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块连接，所述的X方向直线电机（9）驱动X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块沿着X方向运动；所述的柔性关节（7）含有第一滚珠轴承（11）、第二滚珠轴承（12）和一个沿X方向布置的微型直线导轨滑块机构（13）；所述的第一滚珠轴承（11）沿Y方向布置，第一滚珠轴承的转轴与微型直线导轨滑块机构（13）的导轨连接，第一滚珠轴承的轴套和所述的第二滚珠...

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，其特征在于:所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束(8)、柔性关节(7)、Y方向直线气浮导轨滑块机构(6)、X方向直线导轨滑块机构(5)和X方向直线电机(9);所述的线缆束(8)与所述的X方向直线导轨滑块机构(5)的滑块连接，所述的X方向直线电机(9)驱动X方向直线导轨滑块机构(5)的滑块沿着X方向运动；所述的柔性关节(7)含有第一滚珠轴承(11)、第二滚珠轴承(12)和一个沿X方向布置的微型直线导轨滑块机构(13);所述的第一滚珠轴承(11)沿Y方向布置，第一滚珠轴承的转轴与微型直线导轨滑块机构(13)的导轨连接，第一滚珠轴承的轴套和所述的第二滚珠轴承(12)的轴套通过一个连接块(10)固定在一起；所述的微型直线导轨滑块机构(13)的滑块通过一个T形连接块(16)与平面电机的动子连接在一起；第二滚珠轴承(12)沿Z轴方向布置，第二滚珠轴承(12)的转轴与所述的Y方向直线气浮导轨滑块机构(6)的滑块连接在一起；所述的Y方向直线气浮导轨滑块机构(6)是通过一个L型...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱煜，张鸣，成荣，刘召，杨开明，徐登峰，张利，秦慧超，赵彦坡，胡清平，田丽，叶伟楠，张金，尹文生，穆海华，胡金春，
申请(专利权)人：清华大学，北京华卓精科科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：