【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉热场加热器
本技术属于单晶硅制备
，具体涉及一种单晶炉热场加热器。
技术介绍
目前，在直拉单晶系统中，现有的加热器缺少保护措施，如图1所示，电极螺丝暴露在外，因此经常会遇到硅料滴落在电极螺丝上，造成加热器报废的情况。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种用于单晶炉热场加热器，简单实用，能有效避免硅液对加热器电极螺丝的损伤。为解决上述技术问题，本技术所采取的技术方案是:一种单晶炉热场加热器，包括筒状的加热器本体；加热器本体具有电极脚，电极脚上设有电极螺丝；所述电极螺丝上设有护罩。其中，所述护罩由高纯石墨制成，其膨胀系数与加热器本体的膨胀系数相同。其中，所述护罩的一端开口设置；护罩包括上盖板和设在上盖板底部的三个依次联接的侧板。其中，所述护罩底部的中间位置设有与电极螺丝的螺母形状相一致的凹槽。其中，所述上盖板的顶部两端各设有一个斜面，并且上盖板相对于加热器本体筒壁的端面为圆弧面。采用上述技术方案所`产生的有益效果在于:本技术简单实用，能有效避免硅液对加热器的损伤。护罩能够对电极螺丝起到保护作用，在加上护罩后，如有液态硅滴落时，液态硅将落到护罩上，避免硅液损伤电极螺丝，从而有效保护加热器。【附图说明】图1是现有加热器的结构示意图；图2是本技术的结构示意图；图3是本技术护罩的结构示意图；图中:1、加热器本体，2、电极螺丝，3、护罩，3-1、上盖板，3-2、侧板。【具体实施方式】下面结合附图和【具体实施方式】对本技术作进一步详细的说明。如图2所示，本技术为一种单晶炉热场加热器，包括筒状的加热器本体I ;加热器本体I具有电极脚，电极脚上设...
【技术保护点】
一种单晶炉热场加热器，包括筒状的加热器本体（1）；加热器本体（1）具有电极脚，电极脚上设有电极螺丝（2）；其特征在于：所述电极螺丝（2）上设有护罩（3）。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉热场加热器，包括筒状的加热器本体(I);加热器本体(I)具有电极脚，电极脚上设有电极螺丝(2);其特征在于:所述电极螺丝(2)上设有护罩(3)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场加热器，其特征在于:所述护罩(3)由高纯石墨制成，其膨胀系数与加热器本体(I)的膨胀系数相同。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场加热器，其特征在于:所述护罩(3)的一端开口设置；护...
【专利技术属性】
技术研发人员：张浩强，颜玉峰，杨立辉，
申请(专利权)人：河北宁晋松宫半导体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。