下载一种单晶炉热场加热器的技术资料

文档序号:9747169

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本实用新型公开了一种单晶炉热场加热器,包括筒状的加热器本体;加热器本体具有电极脚,电极脚上设有电极螺丝;所述电极螺丝上设有护罩。本实用新型简单实用,能有效避免硅液对加热器的损伤。护罩能够对电极螺丝起到保护作用,在加上护罩后,如有液态硅滴落时...
该专利属于河北宁晋松宫半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北宁晋松宫半导体有限公司授权不得商用。

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