一种碳纤维复合坩埚制造技术

本实用新型专利技术提供一种碳纤维复合坩埚，应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中，包括：上环部、中环部和下碗装部依序连接；其中，上环部为一环状中空体，由若干个弧形第一组合片平行于底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，上环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，缝隙上设置有连接机构；中环部为一环状中空体，由若干个弧形第二组合片平行于底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，中环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，缝隙上设置有连接机构；下碗装部为一弧形碗状体，包括：若干个第三组合片和一碗底部，第三组合片垂直与碗底部连接形成碗壁。本实用新型专利技术的坩埚性价比高、耐腐蚀能力强，可以有效对抗硅蒸汽的侵蚀，使用寿命长。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种碳纤维复合坩埚
本技术涉及单晶硅或多晶硅的制造过程中的一种坩埚，具体涉及一种采用碳纤维复合材料制作的碳纤维复合坩埚。
技术介绍
在单晶硅的制作中，目前普遍采用直拉法(CZ法)，就是沿着垂直方向从熔体中拉制单晶的方法。在现有技术设备中，有一个部件是石墨坩埚，它是用来承载内部的石英坩埚的。在使用过程中，由于石英坩埚和石墨坩埚的膨胀系数不同，而且硅蒸汽与石墨会产生侵蚀反应的原因，存在石墨坩埚龟裂、侵蚀失强等问题。而且，随着单晶硅生长的晶体直径越来越粗，相应的单晶炉的直径也越做越大，这样对热场的可靠性也要求越来越高。由于石墨坩埚强度的局限性，直径越大那么其壁厚要求也越大，所以重量很重，而且热容很高，导致操作笨重，耗能增加，成本提高。另外，受到石墨制造工艺的限制，直径做的越大工艺成本也越闻。综合以上所述，现有技术的石墨樹祸具有以下的问题:1.存在热应力、硅蒸汽侵蚀，导致坩埚龟裂、侵蚀失强；2.需烧结或气相沉积或液相沉积，工时大成本较高；3.直径越大壁厚要求也越大，材料成本高。基于现有技术的石墨坩埚以上几种性能和生产工艺的缺点，因此一种性价比高、耐腐蚀能力强，可以有效对抗硅蒸汽的侵蚀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碳纤维复合坩埚，应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中的一种碳纤维复合材料的应用领域，其特征在于，所述碳纤维复合坩埚包括：上环部、中环部和下碗装部，所述上环部、中环部和下碗装部依序连接；其中，所述上环部为一环状中空体，所述上环部由若干个弧形第一组合片组成，所述第一组合片平行于坩埚底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，所述上环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，所述缝隙上设置有连接机构；所述中环部为一环状中空体，所述中环部由若干个弧形第二组合片组成，所述第二组合片平行于坩埚底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，所述中环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，所述缝隙上设置有连接机构；所述下碗装...

【技术特征摘要】
1.一种碳纤维复合坩埚，应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中的一种碳纤维复合材料的应用领域，其特征在于，所述碳纤维复合坩埚包括:上环部、中环部和下碗装部，所述上环部、中环部和下碗装部依序连接；其中， 所述上环部为一环状中空体，所述上环部由若干个弧形第一组合片组成，所述第一组合片平行于坩埚底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，所述上环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，所述缝隙上设置有连接机构； 所述中环部为一环状中空体，所述中环部由若干个弧形第二组合片组成，所述第二组合片平行于坩埚底部周向排列堆叠，通过垂直于底部的销子组装而成，所述中环部的侧面具有平行于轴向的缝隙，所述缝隙上设置有连接机构； 所述下碗装部为...

【专利技术属性】
技术研发人员：申富强，
申请(专利权)人：上海骐杰碳素材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：