一种升降旋转驱动机构制造技术

一种升降旋转驱动机构，包括立柱，安装在立柱上的第一支撑座和第二支撑座，导柱顶端安装在第一支撑座内，底端穿过第二支撑座，并在底端连接有安装在立柱上的旋转驱动装置，在导柱上安装有升降驱动装置，升降驱动装置与导柱的连接部位设有升降驱动装置防转装置，副炉室通过连接板安装在导柱上，连接板与导柱的连接部位设有连接板防转装置，升降驱动装置的丝杠通过销轴与连接板固定；能够安全可靠的实现副炉室电动升降及旋转，并采用电机驱动替代油缸，解决了油缸在使用过程中出现的污染环境及维护麻烦等一系列技术问题。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种升降旋转驱动机构
本技术涉及单晶硅生产
，具体涉及一种升降旋转驱动机构。
技术介绍
根据直拉法单晶硅生长的特点及工艺要求，直拉法单晶炉的真空炉室部分分为副炉室、隔离阀室、上炉室、下炉室、炉底几个部分。为了清理炉室方便及安全取出晶体，真空炉室的上炉室、隔离阀室、副炉室均需升起并旋转让开空间。目前大多数单晶炉，实现炉室升降运动是将副炉室及隔离阀室固定在导柱上，采用油缸推动导柱，带动副炉室或者隔离阀室升降，炉室的旋转也大都采用手动，增加了操作人员的劳动强度，自动化程度低；少数单晶炉，也将油缸驱动更改为电机驱动，旋转仍然为手动，油缸驱动，安装维护均比较麻烦，长时间运行故障频发，同时油缸漏油时环境污染严重；另有少数单晶炉，旋转和升降采用一个电机驱动，需增加一种限位机构，并设两种位置模式，通过设置不同限位位置模式来实现提升和旋转运动的转换，该机构操作复杂，当升降旋转运动判定失误引起误操作时，会造成严重的安全质量事故。
技术实现思路
为了解决上述现有技术存在的问题，本技术的目的在于提供一种升降旋转驱动机构，能够安全可靠的实现副炉室电动升降及旋转，并采用电机驱动替代油缸，解决了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种升降旋转驱动机构，其特征在于：包括立柱（4），安装在立柱（4）上的第一支撑座（2）和第二支撑座（8），导柱（3）顶端安装在第一支撑座（2）内，底端穿过第二支撑座（8），并在底端连接有安装在立柱（4）上的旋转驱动装置（9），在导柱（3）上安装有升降驱动装置（7），升降驱动装置（7）与导柱（3）的连接部位设有升降驱动装置防转装置（11），副炉室（1）通过连接板（5）安装在导柱（3）上，连接板（5）与导柱（3）的连接部位设有连接板防转装置（10），升降驱动装置（7）的丝杠通过销轴（6）与连接板（5）固定。

【技术特征摘要】
1.一种升降旋转驱动机构，其特征在于:包括立柱(4)，安装在立柱(4)上的第一支撑座(2)和第二支撑座(8)，导柱(3)顶端安装在第一支撑座(2)内，底端穿过第二支撑座(8)，并在底端连接有安装在立柱(4)上的旋转驱动装置(9)，在导柱(3)上安装有升降驱动装置(7)，升降驱动装置(7)与导柱(3)的连接部位设有升降驱动装置防转装置(11)，副炉室(I)通过连接板(5)安装在导柱(3)上，连接板(5)与导柱(3 )的连接部位设有连接板防转装置(10)...

【专利技术属性】
技术研发人员：时刚，张灵鸽，武海军，
申请(专利权)人：西安创联新能源设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：