一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置。包括：单晶炉上传动部件，所述单晶炉上传动部件底板设置有监测支撑机构和检测装置，所述监测支撑机构与单晶炉上传动部件固定连接，所述监测支撑机构顶部可拆卸连接有检测装置。通过在单晶炉上传动部件的底板固定安装监测支撑组件，实现了单晶炉上传动部件水平倾斜位移的放大；通过检测装置实现对单晶炉上传动部件水平倾斜的实时检测，通过控制系统与检测装置电性连接，实现了在实时监测的同时，一旦倾斜度的变化量超出设定范围，立刻发出报警提示，便于及时维护调整，提高单晶棒拉制的成功率。制的成功率。制的成功率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置


[0001]本技术涉及单晶硅设备的
，特别涉及一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置。

技术介绍

[0002]目前，利用直拉法单晶炉拉制单晶硅棒，晶棒需要做向上提拉和旋转运动，由上传动部件实现。上传动部件普遍通过软轴来提拉晶棒，为了保证软轴在升降和旋转运动过程中的稳定性，需要调整上传动部件中的相关机构从而保证上传动部件旋转轴中心线的铅锤度。由于上传动部件通过炉筒及提升旋转机构与机架相连，炉筒的日常旋开旋闭操作引起的振动，以及机架结构件的变形，都容易造成合炉状态下的上传动铅锤度跑偏，从而影响单晶棒的拉制。所以在日常维护中，需要定期复检上传动铅锤精度。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置。
[0004]具体方案为：
[0005]一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置，包括：单晶炉上传动部件，所述单晶炉上传动部件底板设置有监测支撑机构和检测装置，
[0006]所述监测支撑机构与单晶炉上传动部件固定连接，所述监测支撑机构顶部可拆卸连接有检测装置；
[0007]所述第一连接杆和第二连接杆均垂直设置在底板的顶部；
[0008]所述第二连接杆与底板同心设置，所述第二连接杆底部与底板弹性连接，所述第二连接杆的顶部设置有连接板；
[0009]所述第一连接杆等距设置在底板周侧，所述第一连接杆与底板固定连接；
[0010]所述连接板侧面与第一连接杆弹性连接，所述连接板底部与第二连接杆固定连接，所述连接板顶部可拆卸连接有检测装置。
[0011]进一步的，所述第一连接杆与连接板之间设置有第一弹簧，
[0012]所述第一弹簧的两端分别固定连接第一连接杆和连接板。
[0013]进一步的，所述第二连接杆与底板之间设置有第二弹簧，
[0014]所述第二弹簧的两端分别固定连接底板和第二连接杆。
[0015]进一步的，所述检测装置还电性连接有控制系统。
[0016]进一步的，所述检测装置为倾角传感器。
[0017]本技术的有益效果在于：
[0018]本装置通过在单晶炉上传动部件的底板固定安装监测支撑组件，实现了单晶炉上传动部件水平倾斜位移的放大；
[0019]通过检测装置实现对单晶炉上传动部件水平倾斜的实时检测，并通过水平倾斜位移与铅锤的转换，从而得出铅锤倾斜度的变化；
[0020]通过控制系统与检测装置电性连接，实现了在实时监测的同时，一旦倾斜度的变化量超出设定范围，立刻发出报警提示，便于及时维护调整，提高单晶棒拉制的成功率。
[0021]下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
[0022]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0023]图1为本技术实施例中一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置结构示意图；
[0024]图2为本技术实施例中一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置的俯视图；
[0025]图3为本技术实施例中一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置的安装示意图，
[0026]其中，1
‑
底板，2
‑
第一连接杆，3
‑
连接板，4
‑
检测装置，5
‑
第一弹簧，6
‑
第二弹簧，7
‑
第二连接杆，8
‑
控制系统，9
‑
单晶炉上传动部件，
具体实施方式
[0027]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0028]一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置，包括：单晶炉上传动部件9，所述单晶炉上传动部件9底板设置有监测支撑机构和检测装置4，
[0029]所述监测支撑机构与单晶炉上传动部件9固定连接，所述监测支撑机构顶部可拆卸连接有检测装置4；
[0030]本技术的一个实施例中，所述监测支撑机构包括底板1、若干第一连接杆2，第二连接杆7，
[0031]所述第一连接杆2和第二连接杆7均垂直设置在底板1的顶部；
[0032]所述第二连接杆7与底板1同心设置，所述第二连接杆7底部与底板1弹性连接，所述第二连接杆7的顶部设置有连接板3，
[0033]所述第一连接杆2等距设置在底板1周侧，所述第一连接杆2与底板1固定连接；
[0034]所述连接板3侧面与第一连接杆2弹性连接，所述连接板3底部与第二连接杆7固定连接，所述连接板3顶部可拆卸连接有检测装置4。
[0035]本技术的一个实施例中，所述第一连接杆2与连接板3之间设置有第一弹簧5，
[0036]所述第一弹簧5的两端分别固定连接第一连接杆2和连接板3。
[0037]本技术的一个实施例中，所述第二连接杆7与底板1之间设置有第二弹簧6，
[0038]所述第二弹簧6的两端分别固定连接底板1和第二连接杆7。
[0039]本技术一个实施例中，所述检测装置4还电性连接有控制系统8。
[0040]本技术一个实施例中，所述检测装置4为倾角传感器。
[0041]需要说明的是，本装置通过底板1安装在上传动部件9的底板上，底板1与上传动部件9可以焊接在一起也可以通过螺栓安装在一起，在安装本装置谦和后均应进行水平度的测量，本技术中的检测装置4为高精度、高分辨率的双轴数字型倾角传感器，其中倾角传感器的X轴测量部与连接板3平行，且测量部位于连接板3的中心，从而通过传感器可以实
时检测上传动部件在合炉状态下水平度是否发生变化，从而反映出上传动部件铅锤度是否发生变化；倾角传感器的信号接入控制系统8，检测装置4将监测的数据实时传送给控制系统8，控制系统8根据反馈的数据对变化量进行判定，当变化量超出设定的范围时，立刻发出报警提示，便于及时维护调整，提高单晶棒拉制的成功率；本实施例中第一连接杆2至少设置有三个，第一连接杆2均位于底板1顶部，沿着底板1的外廓周向设置，且相邻第一连接杆2的夹角相同，检测装置4与连接板3的可拆卸连接，可通过螺钉粘接等方式来实现，检测装置4安装在连接板3前后进行水平度的测量。
[0042]本技术的工作过程为：
[0043]首先，将本装置的底板1固定安装在单晶炉上传动西安创联新能源设备有限公司部件9的底板上表面，安装时注意检测装置4的安装方向为炉体的正方向，将检测装置4与控制系统8电性连接；
[0044]监测时，当单晶炉的上传动回转中心线倾斜时，单晶炉的上传动9会发生水平位移，由于底板1固定安装在单晶炉上传动部件9的顶部，因此底板1以及垂直安装在底板1上表面的第一连接杆2的水平面均会产生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置，其特征在于，包括：单晶炉上传动部件(9)，所述单晶炉上传动部件(9)底板设置有监测支撑机构和检测装置(4)，所述监测支撑机构与单晶炉上传动部件(9)固定连接，所述监测支撑机构顶部可拆卸连接有检测装置(4)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉上传动部件铅锤度检测装置，其特征在于，所述监测支撑机构包括底板(1)、若干第一连接杆(2)，第二连接杆(7)，所述第一连接杆(2)和第二连接杆(7)均垂直设置在底板(1)的顶部；所述第二连接杆(7)与底板(1)同心设置，所述第二连接杆(7)与底板(1)弹性连接，所述第二连接杆(7)的顶部设置有连接板(3)；所述第一连接杆(2)等距设置在底板(1)周侧，所述第一连接杆(2)与底板(1)固定连接；所述连接板(3)侧面与第一连接杆(2)弹性连接，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：时刚，周龙，刘统青，
申请(专利权)人：西安创联新能源设备有限公司，
类型：新型
国别省市：