下载一种碳纤维复合坩埚的技术资料

文档序号:9747168

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本实用新型提供一种碳纤维复合坩埚,应用于单晶硅或多晶硅的制造过程中,包括:上环部、中环部和下碗装部依序连接;其中,上环部为一环状中空体,由若干个弧形第一组合片平行于底部周向排列堆叠,通过垂直于底部的销子组装而成,上环部的侧面具有平行于轴向的...
该专利属于上海骐杰碳素材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海骐杰碳素材料有限公司授权不得商用。

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