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单晶炉石墨坩埚加热装置制造方法及图纸

技术编号:9343588 阅读:111 留言:0更新日期:2013-11-13 20:52
本实用新型专利技术公开的单晶炉石墨坩埚加热装置,包括石墨加热器和设于石墨加热器中间的石墨坩埚,其特征在于:石墨加热器固定设置,石墨坩埚上下活动设置,石墨坩埚包括由四瓣锅片围成的锅体,四瓣锅片的底部设有箍盘,箍盘从四瓣锅片的底部将四瓣锅片进行箍住并进行托住,箍盘固定在升降杆的顶端,升降杆由动力件驱动作上下运动。本实用新型专利技术能有效提高生产的单晶硅产品质量,降低生产能耗,同时具有装炉方便、更换成本低等优点。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
单晶炉石墨坩埚加热装置,包括石墨加热器和设于石墨加热器中间的石墨坩埚,其特征在于:石墨加热器固定设置,石墨坩埚上下活动设置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:徐娜
申请(专利权)人:徐娜
类型:实用新型
国别省市:

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