【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种晶体生长领域的热屏，尤其涉及一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏。
技术介绍
现有蓝宝石晶体生长炉一般采用平行放置的热屏，包括顶部热屏、底部热屏和侧部热屏，通常这种热屏为多片结构，每片的形状结构相同。晶体生长放肩阶段时，现有底部热屏存在明显的不足:蓝宝石生长时，需要避免坩埚边缘结晶，以防止多晶产生，从而避免出现过多晶界，现有顶部热屏肩部通过热辐射向顶部散热，导致边缘散热过快，进而边缘结晶，产生大量的晶界，严重时导致开裂；在退火阶段时，由于晶体导热较差，所以晶体中间温度高于边缘温度，再加上平行热屏的热辐射作用，使得内外温差过大，也容易导致晶体开裂等严重问题。
技术实现思路
专利技术目的:本专利技术的目的是为了解决现有技术的不足，提供一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，不但可以减少长晶过程中晶界的产生，而且可以减少由于退火温差过大而引起的晶体开裂，提闻晶体成品率。技术方案:为了实现以上目的，本专利技术所述的一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，其特征在于:所述热屏包括由若干钨片同轴叠置而成的第一钨片组，所述钨片中央设有开孔，所述开孔直径由上往下依次减小。在本专利...
【技术保护点】
一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏，其特征在于：所述热屏包括由若干钨片(3)同轴叠置而成的第一钨片组(1)，所述钨片(3)中央设有开孔(4)，所述开孔(4)直径由上往下依次减小。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：娄中士，方建雄，金启源，
申请(专利权)人：苏州海铂晶体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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