下载一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏的技术资料

文档序号:8956690

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本发明公开了一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏,所述热屏包括由若干钨片同轴叠置而成的第一钨片组,所述钨片中央设有开孔,所述开孔直径由上往下依次减小。本发明可以增加中心区域的散热,减少边缘区域的辐射散热。退火时,可以增加中心区域的降温速率,使晶...
该专利属于苏州海铂晶体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州海铂晶体有限公司授权不得商用。

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