本实用新型专利技术涉及一种太阳能电池湿法氧化设备，具有二号槽体和八号槽体，所述二号槽体上并列设置有与其内腔相通的HF配槽盒、HN03配槽盒和HN03添加盒，所述二号槽体和八号槽体之间设置有HNO3回收利用槽，该回收利用槽连通二号槽体和八号槽体，所述八号槽体上还设置有与其内腔相通的HN03湿氧化专用槽。这种太阳能电池湿法氧化设备完全实现多晶制绒机生产模式，使化学品用量降低，降低改造和生产成本，同时便于量产，提高产量。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种太阳能电池湿法氧化设备，具有二号槽体和八号槽体，所述二号槽体上并列设置有与其内腔相通的HF配槽盒、HN03配槽盒和HN03添加盒，所述二号槽体和八号槽体之间设置有HNO3回收利用槽，该回收利用槽连通二号槽体和八号槽体，所述八号槽体上还设置有与其内腔相通的HN03湿氧化专用槽。这种太阳能电池湿法氧化设备完全实现多晶制绒机生产模式，使化学品用量降低，降低改造和生产成本，同时便于量产，提高产量。【专利说明】太阳能电池湿法氧化设备
本技术涉及一种氧化设备，尤其涉及一种太阳能电池湿法氧化设备。
技术介绍
目前光伏行业扩散源主要以三氯氧磷(P0CL3)为主，通入方式主要有气体携带源扩散和喷淋扩散源两种。对于喷涂扩散方式从2009年末开始才始得到量产应用，发展缓慢的原因主要是因为磷酸(H3P04)+DI水在Silicon Wafer表面分布不均匀，导致扩散方块电阻不均匀，一定程度上影响了其表面浓度与结深的分布，原因主要还是表面张力不够，对此问题通过大量实验进行了验证，通过增加氧化层来增加表面张力，进而获得了技术上的突破。起初试用干氧化形成(S102)的方式进行实验，产生问题如下:一、喷涂效果改善一般，但热氧化使有害的杂质扩进电池体内，影响了其电性能；二、另外也需要增加热氧化机台，对于设备成本有很大增加；三、对于氧化时间相对过长，严重影响产能的输出。为了解决上述问题，现采用HN03进行化学氧化处理，采用槽体生产模式，类似于单晶制绒机设备，但是自动化程度低，与现有的多晶制绒设备衔接不上，大大影响了产能；同时，槽式设备不能保证药液挥发，使得进入扩散后的片子氧化效果不能得到保证，出现问题后只有重新换液，造成一定程度的浪费。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种喷涂效果好的太阳能电池湿法氧化设备。为了解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的:一种太阳能电池湿法氧化设备，具有二号槽体和八号槽体，所述二号槽体上并列设置有与其内腔相通的HF配槽盒、HN03配槽盒和HN03添加盒，所述二号槽体和八号槽体之间设置有HN03回收利用槽，该回收利用槽连通二号槽体和八号槽体，所述八号槽体上还设置有与其内腔相通的HN03湿氧化专用槽。与现有技术相比，本技术的有益之处是:这种太阳能电池湿法氧化设备完全实现多晶制绒机生产模式，使化学品用量降低，降低改造和生产成本，同时便于量产，提高产量。【专利附图】【附图说明】:下面结合附图对本技术进一步说明。图1是本太阳能电池湿法氧化设备结构示意图。图中:1、二号槽体；11、HF配槽盒；12、HN03配槽盒；13、HN03添加盒;14、HN03回收利用槽；2、八号槽体；21、HN03湿氧化专用槽。【具体实施方式】:下面结合附图及【具体实施方式】对本技术进行详细描述:图1所示一种太阳能电池湿法氧化设备，具有二号槽体I和八号槽体2，所述二号槽体I上并列设置有与其内腔相通的HF配槽盒11、HN03配槽盒12和HN03添加盒13，所述二号槽体I和八号槽体2之间设置有HN03回收利用槽14，该回收利用槽14连通二号槽体I和八号槽体2，所述八号槽体2上还设置有与其内腔相通的HN03湿氧化专用槽21。使用时，通过HF配槽盒11、HN03配槽盒12和HN03添加盒13对二号槽体I进行配液，HN03湿氧化专用槽21内的化学液体被使用之后输入八号槽体2内，八号槽体2对使用过的化学液体过滤，再输入HN03回收利用槽14内，通过HN03回收利用槽14再对二号槽体I配液，循环使用。这种太阳能电池湿法氧化设备完全实现多晶制绒机生产模式，使化学品用量降低，降低改造和生产成本，同时便于量产，提高产。需要强调的是:以上仅是本技术的较佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，凡是依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本技术技术方案的范围内。【权利要求】1.一种太阳能电池湿法氧化设备，其特征在于:具有二号槽体(I)和八号槽体(2)，所述二号槽体(I)上并列设置有与其内腔相通的HF配槽盒(11)、HN03配槽盒(12)和HN03添加盒(13)，所述二号槽体(I)和八号槽体(2)之间设置有HN03回收利用槽(14)，该回收利用槽(14)连通二号槽体(I)和八号槽体(2)，所述八号槽体(2)上还设置有与其内腔相通的HN03湿氧化专用槽(21)。【文档编号】H01L31/18GK203386787SQ201320448072【公开日】2014年1月8日 申请日期:2013年7月26日 优先权日:2013年7月26日 【专利技术者】初仁龙, 鲁伟明, 费存勇, 王志刚, 李省 申请人:泰州德通电气有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种太阳能电池湿法氧化设备，其特征在于：具有二号槽体（1）和八号槽体（2），所述二号槽体（1）上并列设置有与其内腔相通的HF配槽盒（11）、HN03配槽盒（12）和HN03添加盒（13），所述二号槽体（1）和八号槽体（2）之间设置有HNO3回收利用槽（14），该回收利用槽（14）连通二号槽体（1）和八号槽体（2），所述八号槽体（2）上还设置有与其内腔相通的HN03湿氧化专用槽（21）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：初仁龙，鲁伟明，费存勇，王志刚，李省，
申请(专利权)人：泰州德通电气有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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