【技术实现步骤摘要】
: 本技术涉及一种防臭氧扩散保护结构,属于机械
技术介绍
: 目前在太阳能电池的刻蚀下料处安装臭氧氧化设备,用于生长氧化膜以便实现组件的抗PID效果,但是现有的臭氧喷淋设备存在以下弊端:设备采用开放式模式,臭氧除与设备下方的硅片发生反应外,多余的臭氧很容易扩散至其他地方,继续与前方和后方的硅片发生反应,产生厚度不均的氧化膜的生长,并且会扩散至其他区域影响操作人员的健康,并造成了极大的环境污染。
技术实现思路
:本技术所要解决的技术问题是,提供一种防臭氧扩散保护结构,通过对设备进行改进,在设备前方和后方增加气幕,以隔绝臭氧气体的扩散,在设备上方和下方增加抽风装置,以阻止多余气体的扩散。为了解决上述技术问题,本技术是通过以下技术方案实现的:一种防臭氧扩散保护结构,包括有底座。为了方便硅片运行,进一步地,所述底座上等距间隔分布有多个传动滚轮。为了增加硅片的使用效果,再进一步地,所述底座上方还设置有臭氧发生器,所述臭氧发生器安装于上支架上。为了能够方便固定臭氧发生器,再进一步地,所述上支架上设置有内部中空的臭氧发生器安装槽。为了能够使臭氧通到外面,再进一步地,所述安装槽的底部设置有多个圆形通气孔。为了防止臭氧前后扩散,再进一步地,所述安装槽的左右两边设置有氮气阻挡槽,所述氮气阻挡槽的底部设置有多个圆形通孔。为了防止废气扩散到空气中,再进一步地,所述上支架的左右两边设置有多个排气通孔,所述排气通孔上设置有排气管,所述上支架的底面设置有支撑柱,所述臭氧发生器上设置有进气管,所述 ...
【技术保护点】
一种防臭氧扩散保护结构,包括有底座(1),所述底座(1)上等距间隔分布有多个传动滚轮(2),所述底座(1)上方还设置有臭氧发生器(3),所述臭氧发生器(3)安装于上支架(4)上,其特征在于:所述上支架(4)上设置有内部中空的臭氧发生器安装槽(5),所述安装槽(5)的底部设置有多个圆形通气孔(6),所述安装槽(5)的左右两边设置有氮气阻挡槽(7),所述氮气阻挡槽(7)的底部设置有多个圆形通孔(8),所述上支架(4)的左右两边设置有多个排气通孔(9),所述排气通孔(9)上设置有排气管(10),所述上支架(4)的底面设置有支撑柱(11),所述臭氧发生器(3)上设置有进气管(12)。
【技术特征摘要】
1. 一种防臭氧扩散保护结构,包括有底座(1),所述底座(1)上等距间隔分布有多个传动滚轮(2),所述底座(1)上方还设置有臭氧发生器(3),所述臭氧发生器(3)安装于上支架(4)上,其特征在于:所述上支架(4)上设置有内部中空的臭氧发生器安装槽(5),所述安装槽(5)的底部设置有多个圆形通气孔(6),所述安装槽(5)的左右两边设置有氮气阻挡槽(7),所述氮气阻挡槽(7)的底部设置有多个圆形通孔(8),所述上支架(4)的左右两边设置有多个排气通孔(9),所述排气通孔(9)上设置有排气管...
【专利技术属性】
技术研发人员:鲁伟明,费存勇,李省,初仁龙,
申请(专利权)人:泰州德通电气有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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