等离子体气相沉积用射频电源制造技术

一种等离子体气相沉积用射频电源，包括一变压器，用于将一交流源电压变换成一交流输入电压；一激发单元，用于利用所述交流输入电压产生一正弦波电压；一放大单元，用于放大所述正弦波电压；一自动匹配单元，用于对所述正弦波电压进行负载阻抗匹配，包括：一匹配电容；及一匹配电容传动部件，其中，所述匹配电容传动部件采用齿轮比为(1.5~2.5)：15的齿轮传动部件；及一输出单元，用于将所述正弦波电压输出至一气相沉积设备。本实用新型专利技术结构合理，配匹精度高，片间均匀性得到有效提高。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种等离子体气相沉积用射频电源，其特征在于，包括：一变压器，用于将一交流源电压变换成一交流输入电压；一激发单元，用于利用所述交流输入电压产生一正弦波电压；一放大单元，用于放大所述正弦波电压；一自动匹配单元，用于对所述正弦波电压进行负载阻抗匹配，包括：一匹配电容；及一匹配电容传动部件，其中，所述匹配电容传动部件采用齿轮比为(1.5~2.5)：15的齿轮传动部件；及一输出单元，用于将所述正弦波电压输出至一气相沉积设备并产生辉光放电现象。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沙嫣，沙晓林，
申请(专利权)人：沙嫣，沙晓林，
类型：实用新型
国别省市：