【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种等离子体放电装置，包含射频电源系统（2）、真空容器（1）和设置在真空容器（1）内壁上的支架（4），其特征在于：具有放置在所述支架（4）上的电极组件（3），所述电极组件（3）由2个侧电极（31）和至少1个中间电极（32）所组成，所述中间电极（32）为导电金属，所述侧电极（31）分别由导电层（311）、绝缘层（312）和屏蔽金属层（313）叠加而成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张波，吴正勇，陶永德，周保牛，吴小邦，朱葛俊，
申请(专利权)人：常州机电职业技术学院，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。