【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种射频发生器包括：功率控制模块，配置为产生表示功率放大器的多个目标状态的功率水平的功率信号；频率控制模块，配置为产生表示所述功率放大器的多个目标状态的频率的频率信号；以及脉冲发生模块，配置为（i）向所述功率放大器供应输出信号，（ii）调出所述功率放大器的所述多个目标状态之一的最新功率水平和最新频率中的至少一个，（iii）基于所述功率放大器的所述最新功率水平和所述最新频率中的至少一个、所述功率信号和所述频率信号，将所述输出信号的当前功率水平和当前频率从第一状态调节至第二状态。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：拉里·J·菲斯克二世，哈米西·鲁格胡努尼多，
申请(专利权)人：MKS仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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