【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及rf产生器系统和rf产生器的控制。
技术介绍
1、这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景。在本背景部分中描述范围内的目前命名的专利技术人的工作以及在申请时可能不符合现有技术的条件的描述的各方面既不明确地，也不隐含地被承认为针对本公开的现有技术。
2、在半导体制造中经常使用等离子体制造。在等离子体制造中，离子被电场加速以从基板的表面蚀刻材料或将材料沉积到基板的表面上。在一种基本实施方式中，基于由功率输送系统的相应的射频(rf)或直流(dc)产生器产生的rf或dc功率信号产生电场。必须精确控制由产生器产生的功率信号以有效地执行等离子体蚀刻。
3、这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景。在本背景部分中描述范围内的目前命名的专利技术人的工作以及在申请时可能不符合现有技术的条件的描述的各方面既不明确地，也不隐含地被承认为针对本公开的现有技术。
技术实现思路
1、一台或多台计算机的系统可以被配置为通过在系统上安装软件、固件、硬件或它们的组合来执行特定操作或动作，软件、固件、硬件或它们的组合在操作中使系统执行动作。一个或多个计算机程序可以被配置为通过包括指令来执行特定操作或动作，当由数据处理装置执行时，指令使装置执行动作。一个一般方面包括一种具有rf电源的rf产生器。产生器还包括：rf控制模块，耦接到rf电源并且被配置为生成至少一个控制信号以改变来自rf电源的rf输出信号或rf电源与负载之间的阻抗中的相应的至少一个，其中，rf输出信号包括由脉冲信号调
2、实施方式可以包括以下特征中的一个或多个。rf产生器，其中，相应的前馈调整依照正向功率、反向功率、输出功率或反射系数中的一个来改变幅度、频率或阻抗中的至少一个。rf信号的幅度依照至少一个控制信号的幅度或施加到rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。相应的前馈调整改变至少一个控制信号的幅度或施加到rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个。相应的前馈调整调整设定点或执行器中的至少一个。rf控制模块被进一步配置为依照在rf电源与匹配网络之间感测到的rf参数来进一步调整幅度、频率或阻抗中的至少一个，其中，依照根据rf参数而变化的相应的反馈信号来进一步调整幅度、频率或阻抗中的至少一个。rf控制模块可以进一步包括：设定点修改器，被配置为接收包括脉冲设定点参数的请求的脉冲形状并且接收相应的感测到的脉冲参数，并且依照相应的感测到的脉冲参数来调整脉冲设定点参数以输出调整的脉冲形状。rf控制模块可以进一步包括：脉冲合成器，被配置为接收调整的脉冲形状并且依照调整的脉冲形状来输出脉冲设定点曲线，脉冲设定点曲线包括用于控制rf电源的rf参数设定点。至少一个控制信号依照用于控制rf电源的rf参数设定点而变化。rf信号的幅度依照至少一个控制信号的幅度或施加到rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。相应的前馈调整改变至少一个控制信号的幅度或施加到rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个。rf控制模块被进一步配置为依照在rf电源与匹配网络之间感测到的rf参数来进一步调整幅度、频率或阻抗中的至少一个，其中，依照根据rf参数而变化的相应的反馈信号来调整幅度、频率或阻抗。使用模拟通信链路或数字通信链路中的一种在匹配后传感器与rf控制模块之间传送相应的感测到的脉冲参数。数字通信链路包括系统总线数据链路、以太网工业总线、传输控制协议(tcp)、用户数据链路协议(udp)、光纤链路或千兆收发器数据链路中的至少一种。依照由描述脉冲信号在它从rf产生器传播到负载时的变化的电厂模型或逆电厂模型中的一个生成的参数来确定相应的前馈调整。相应的前馈调整调整设定点或执行器中的至少一个。相应的前馈调整调整设定点或执行器中的至少一个。描述的技术的实现可以包括硬件、方法或过程或者计算机可访问介质上的计算机软件。
3、一个一般方面包括一种存储指令的非暂时性计算机可读介质。存储指令的非暂时性计算机可读介质还包括：生成给负载的rf输出信号。指令还包括：生成至少一个控制信号以改变rf输出信号或rf电源与负载之间的阻抗，其中，rf输出信号包括由脉冲信号调制的rf信号。指令还包括：调整至少一个控制信号以改变rf输出信号的幅度或频率或者rf电源与负载之间的阻抗中的至少一个以控制脉冲信号的形状。该指令还包括：依照根据在匹配网络与负载之间感测到的相应的脉冲参数而变化的相应的前馈调整来调整幅度、频率或阻抗中的至少一个。本方面的其他实施例包括各自被配置为执行方法的动作的、对应的计算机系统、装置和记录在一个或多个计算机存储设备上的计算机程序。
4、实施方式可以包括以下特征中的一个或多个。非暂时性计算机可读介质，其中，相应的前馈调整依照正向功率、反向功率、输出功率、反射功率或反射系数中的一个来改变幅度、频率或阻抗中的至少一个。rf信号的幅度依照至少一个控制信号的幅度或施加到rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。相应的前馈调整改变至少一个控制信号的幅度或施加到rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个。依照根据在匹配网络与负载之间感测到的rf参数而变化的相应的反馈信号来进一步调整rf信号的幅度、频率或阻抗中的至少一个。非暂时性计算机可读介质，其中，指令可以包括：接收包括至少一个脉冲设定点参数的请求的脉冲形状和接收相应的脉冲参数以及依照相应的脉冲参数来调整至少一个脉冲设定点参数以输出调整的脉冲形状。非暂时性计算机可读介质，其中，指令可以包括：接收调整的脉冲形状和依照调整的脉冲形状来输出脉冲设定点曲线，脉冲设定点曲线包括用于控制rf电源的rf参数设定点。至少一个控制信号依照用于控制rf电源的rf参数设定点而变化。rf信号的幅度依照至少一个控制信号的幅度或施加到rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化，并且其中，相应的前馈调整改变至少一个控制信号的幅度或施加到rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个。依照根据在匹配网络与负载之间感测到的rf参数而变化的反馈信号来调整幅度、频率或阻抗。非暂时性计算机可读介质，其中，指令可以包括：使用模拟通信链路或数字通信链路中的一种在匹配后传感器与rf控制模块之间传送在匹配网络与负载之间感测到的相应的脉冲参数。数字通信链路包括系统总线数据链路、以太网工业总线、传输控制协议(tcp)、用户数据链路协议(udp)、光纤链路或千兆收发器数据链路中的至少一种。非暂时性计算机可读介质，其中，指令可以包括：依照由描述脉冲信号在它从rf产生器传播到负载时的变化的电厂模型或逆电厂模型中的一个生成的参数来确定相应的前馈调整。描述的技术的实现可以包括硬件、方法或过程或本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种RF产生器，包括：
2.根据权利要求1所述的RF产生器，其中，所述相应的前馈调整依照正向功率、反向功率、输出功率或反射系数中的一个来改变所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个。
3.根据权利要求2所述的RF产生器，其中，所述RF信号的所述幅度依照所述至少一个控制信号的幅度或施加到所述RF电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。
4.根据权利要求3所述的RF产生器，其中，所述相应的前馈调整改变所述至少一个控制信号的所述幅度或施加到所述RF电源的所述轨道电压的所述幅度中的至少一个。
5.根据权利要求1所述的RF产生器，其中，所述相应的前馈调整调整设定点或执行器中的至少一个。
6.根据权利要求1所述的RF产生器，其中，所述RF控制模块被进一步配置为依照在所述RF电源与所述匹配网络之间感测到的RF参数进一步调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个，其中，依照根据所述RF参数而变化的相应的反馈信号来进一步调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的所述至少一个。
7.根据权利要求1所述的RF产生器，其中，所述RF
8.根据权利要求7所述的RF产生器，其中，所述RF控制模块进一步包括：脉冲合成器，被配置为接收所述调整的脉冲形状并且依照所述调整的脉冲形状来输出脉冲设定点曲线，所述脉冲设定点曲线包括用于控制所述RF电源的RF参数设定点。
9.根据权利要求8所述的RF产生器，其中，所述至少一个控制信号依照用于控制所述RF电源的所述RF参数设定点而变化。
10.根据权利要求9所述的RF产生器，其中，所述RF信号的所述幅度依照所述至少一个控制信号的幅度或施加到所述RF电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。
11.根据权利要求10所述的RF产生器，其中，所述相应的前馈调整改变所述至少一个控制信号的所述幅度或施加到所述RF电源的所述轨道电压的所述幅度中的至少一个。
12.根据权利要求11所述的RF产生器，其中，所述RF控制模块被进一步配置为依照在所述RF电源与所述匹配网络之间感测到的RF参数进一步调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个，其中，依照根据所述RF参数而变化的相应的反馈信号来调整所述幅度、所述频率或所述阻抗。
13.根据权利要求1所述的RF产生器，其中，使用模拟通信链路或数字通信链路中的一种在匹配后传感器与所述RF控制模块之间传送所述相应的感测到的脉冲参数。
14.根据权利要求13所述的RF产生器，其中，所述数字通信链路包括系统总线数据链路、以太网工业总线、传输控制协议(TCP)、用户数据链路协议(UDP)、光纤链路或千兆收发器数据链路中的至少一种。
15.根据权利要求1所述的RF产生器，其中，依照由描述所述脉冲信号在它从所述RF产生器传播到所述负载时的变化的电厂模型或逆电厂模型中的一个生成的参数来确定所述相应的前馈调整。
16.一种非暂时性计算机可读介质，存储指令，所述指令包括：
17.根据权利要求16所述的非暂时性计算机可读介质，其中，所述相应的前馈调整依照正向功率、反向功率、输出功率、反射功率或反射系数中的一个来改变所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个。
18.根据权利要求17所述的非暂时性计算机可读介质，其中，所述RF信号的所述幅度依照所述至少一个控制信号的幅度或施加到RF电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。
19.根据权利要求18所述的非暂时性计算机可读介质，其中，所述相应的前馈调整改变所述至少一个控制信号的所述幅度或施加到所述RF电源的所述轨道电压的所述幅度中的至少一个。
20.根据权利要求19所述的非暂时性计算机可读介质，所述指令进一步包括：依照在所述RF电源与所述匹配网络之间感测到的RF信号参数来调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个，其中，依照根据在所述匹配网络与所述负载之间感测到的RF参数而变化的相应的反馈信号来进一步调整所述RF信号的所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个。
21.根据权利要求1所述的RF产生器，其中，所述相应的前馈调整调整设定点或执行器中的至少一个。
22.根据权利要求16所述的非暂时性计算机可读介质，所述指令进一步包括：接收包括至少一个脉冲设定点参数的请求的脉冲形状和接收所述相应的脉冲参数以及依照所述相应的脉冲参数来调整所述至...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种rf产生器，包括：
2.根据权利要求1所述的rf产生器，其中，所述相应的前馈调整依照正向功率、反向功率、输出功率或反射系数中的一个来改变所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个。
3.根据权利要求2所述的rf产生器，其中，所述rf信号的所述幅度依照所述至少一个控制信号的幅度或施加到所述rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。
4.根据权利要求3所述的rf产生器，其中，所述相应的前馈调整改变所述至少一个控制信号的所述幅度或施加到所述rf电源的所述轨道电压的所述幅度中的至少一个。
5.根据权利要求1所述的rf产生器，其中，所述相应的前馈调整调整设定点或执行器中的至少一个。
6.根据权利要求1所述的rf产生器，其中，所述rf控制模块被进一步配置为依照在所述rf电源与所述匹配网络之间感测到的rf参数进一步调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个，其中，依照根据所述rf参数而变化的相应的反馈信号来进一步调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的所述至少一个。
7.根据权利要求1所述的rf产生器，其中，所述rf控制模块进一步包括：设定点修改器，被配置为接收包括脉冲设定点参数的请求的脉冲形状并且接收所述相应的感测到的脉冲参数，并且依照所述相应的感测到的脉冲参数来调整所述脉冲设定点参数以输出调整的脉冲形状。
8.根据权利要求7所述的rf产生器，其中，所述rf控制模块进一步包括：脉冲合成器，被配置为接收所述调整的脉冲形状并且依照所述调整的脉冲形状来输出脉冲设定点曲线，所述脉冲设定点曲线包括用于控制所述rf电源的rf参数设定点。
9.根据权利要求8所述的rf产生器，其中，所述至少一个控制信号依照用于控制所述rf电源的所述rf参数设定点而变化。
10.根据权利要求9所述的rf产生器，其中，所述rf信号的所述幅度依照所述至少一个控制信号的幅度或施加到所述rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。
11.根据权利要求10所述的rf产生器，其中，所述相应的前馈调整改变所述至少一个控制信号的所述幅度或施加到所述rf电源的所述轨道电压的所述幅度中的至少一个。
12.根据权利要求11所述的rf产生器，其中，所述rf控制模块被进一步配置为依照在所述rf电源与所述匹配网络之间感测到的rf参数进一步调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个，其中，依照根据所述rf参数而变化的相应的反馈信号来调整所述幅度、所述频率或所述阻抗。
13.根据权利要求1所述的rf产生器，其中，使用模拟通信链路或数字通信链路中的一种在匹配后传感器与所述rf控制模块之间传送所述相应的感测到的脉冲参数。
14.根据权利要求13所述的rf产生器，其中，所述数字通信链路包括系统总线数据链路、以太网工业总线、传输控制协议(tcp)、用户数据链路协议(udp)、光纤链路或千兆收发器数据链路中的至少一种。
15.根据权利要求1所述的rf产生器，其中，依照由描述所述脉冲信号在它从所述rf产生器传播到所述负载时的变化的电厂模型或逆电厂模型中的一个生成的参数来确定所述相应的前馈调整。
16.一种非暂时性计算机可读介质，存储指令，所述指令包括：
17.根据权利要求16所述的非暂时性计算机可读介质，其中，所述相应的前馈调整依照正向功率、反向功率、输出功率、反射功率或反射系数中的一个来改变所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个。
18.根据权利要求17所述的非暂时性计算机可读介质，其中，所述rf信号的所述幅度依照所述至少一个控制信号的幅度或施加到rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。
19.根据权利要求18所述的非暂时性计算机可读介质，其中，所述相应的前馈调整改变所述至少一个控制信号的所述幅度或施加到所述rf电源的所述轨道电压的所述幅度中的至少一个。
20.根据权利要求19所述的非暂时性计算机可读介质，所述指令进一步包括：依照在所述rf电源与所述匹配网络之间感测到的rf信号参数来调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个，其中，依照根据在所述匹配网络与所述负载之间感测到的rf参数而变化的相应的反馈信号来进一步调整所述rf信号的所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个。
21.根据权利要求1所述的rf产生器，其中，所述相应的前馈调整调整设定点或执行器中的至少一个。
22.根据权利要求16所述的非暂时性计算机可读介质，所述指令进一步包括：接收包括至少一个脉冲设定点参数的请求的脉冲形状和接收所述相应的脉冲参数以及依照所述相应的脉冲参数来调整所述至少一个脉冲设定点参数以输出调整的脉冲形状。
23.根据权利要求22所述的非暂时性计算机可读介质，所述指令进一步包括：接收所述调整的脉冲形状和依照所述调整的脉冲形状来输出脉冲设定点曲线，所述脉冲设定点曲线包括用于控制rf电源的rf参数设定点。
24.根据权利要求23所述的非暂时性计算机可读介质，其中，所述至少一个控制信号依照用于控制rf电源的所述rf参数设定点而变化。
25.根据权利要求24所述的非暂时性计算机可读介质，其中，所述rf信号的所述幅度依照所述至少一个控制信号的幅度或施加到所述rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化，并且其中，所述相应的前馈调整改变所述至少一个控制信号的所述幅度或施加到所述rf电源的所述轨道电压的所述幅度中的至少一个。
26.根据权利要求25所述的非暂时性计算机可读介质，所述指令进一步包括：依照在所述rf电源与所述匹配网络之间感测到的rf信号参数来调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个，其中，依照根据在所述匹配网络与所述负载之间感测到的rf参数而变化的反馈信号来调整所述幅度、所述频率或所述阻抗。
27.根据权利要求16所述的非暂时性计算机可读介质，所述指令进一步包括：使用模拟通信链路或数字通信链路中的一种在匹配后传感器与rf控制模块之间传送在匹配网络与负载之间感测到的所述相应的脉冲参数。
28.根据权利要求27所述的非暂时性计算机可读介质，其中，所述数字通信链路包括系统总线数据链路、以太网工业总线、传输控制协议(tcp)、用户数据链路协议(udp)、光纤链路或千兆收发器数据链路中的至少一种。
29.根据权利要求16所述的非暂时性计算机可读介质，所述指令进一步包括：依照由描述所述脉冲信号在它从rf产生器传播到所述负载时的变化的电厂模型或逆电厂模型中的一个生成的参数来确定所述相应的前馈调整。
30.一种用于控制rf信号的方法，包括：
31.根据权利要求30所述的方法，进一步包括：依照正向功率、反向功率、输出功率或反射系数中的一个来改变所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个。
32.根据权利要求31所述的方法，其中，所述rf信号的所述幅度依照所述控制信号的幅度或施加到所述rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。
33.根据权利要求32所述的方法，其中，所述相应的前馈调整改变所述控制信号的所述幅度或施加到所述rf电源的所述轨道电压的所述幅度中的至少一个。
34.根据权利要求33所述的方法，进一步包括：依照在所述rf电源与所述匹配网络之间感测到的rf信号参数来调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个，其中，依照根据在所述匹配网络与所述负载之间感测到的相应的rf参数而变化的反馈信号来进一步调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个。
35.根据权利要求1所述的rf产生器，其中，所述相应的前馈调整调整设定点或执行器中的至少一个。
36.根据权利要求30所述的方法，进一步包括：接收包括至少一个脉冲设定点参数的请求的脉冲形状和接收所述相应的脉冲参数以及依照所述相应的脉冲参数来调整所述至少一个脉冲设定点参数以输出调整的脉冲形状。
37.根据权利要求36所述的方法，进一步包括：接收所述调整的脉冲形状并且依照所述调整的脉冲形状来输出脉冲设定点曲线，所述脉冲设定点曲线包括用于控制rf电源的至少一个rf参数设定点。
38.根据权利要求30所述的方法，进一步包括：使用模拟通信链路或数字通信链路中的一种在匹配后传感器与rf控制模块之间传送在匹配网络与负载之间感测到的所述相应的脉冲参数。
39.根据权利要求30所述的方法，进一步包括：依照由描述所述脉冲信号在它传播到所述负载时的变化的电厂模型或逆电厂模型中的一个生成的参数来确定所述相应的前馈调整。
40.一种rf产生器，包括：
41.根据权利要求40所述的rf产生器，其中，所述相应的前馈调整依照正向功率、反向功率、输出功率或反射系数中的一个来改变所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个。
42.根据权利要求41所述的rf产生器，其中，所述rf信号的所述幅度依照所述至少一个控制信号的幅度或施加到所述rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。
43.根据权利要求42所述的rf产生器，其中，所述相应的前馈调整改变所述至少一个控制信号的所述幅度或施加到所述rf电源的所述轨道电压的所述幅度中的至少一个。
44.根据权利要求40所述的rf产生器，其中，所述rf控制模块被进一步配置为依照在所述rf电源与所述匹配网络之间感测到的rf信号参数进一步调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的至少一个，其中，依照根据在所述匹配网络与所述负载之间感测到的rf参数而变化的至少一个相应的反馈信号来调整所述幅度、所述频率或所述阻抗中的所述至少一个。
45.根据权利要求40所述的rf产生器，其中，所述相应的前馈调整调整设定点或执行器中的至少一个。
46.根据权利要求40所述的rf产生器，其中，所述rf控制模块进一步包括：设定点修改器，被配置为接收包括至少一个脉冲设定点参数的请求的脉冲形状并且接收所述相应的感测到的脉冲参数，并且依照所述相应的感测到的脉冲参数来调整所述至少一个脉冲设定点参数以输出调整的脉冲形状。
47.根据权利要求46所述的rf产生器，其中，所述rf控制模块进一步包括：脉冲合成器，被配置为接收所述调整的脉冲形状并且依照所述调整的脉冲形状来输出脉冲设定点曲线，所述脉冲设定点曲线包括用于控制所述rf电源的rf参数设定点。
48.根据权利要求47所述的rf产生器，其中，所述至少一个控制信号依照用于控制所述rf电源的所述rf参数设定点而变化。
49.根据权利要求48所述的rf产生器，其中，所述rf信号的所述幅度依照所述至少一个控制信号的幅度或施加到所述rf电源的轨道电压的幅度中的至少一个而变化。
50.根据权利要求49所述的rf产生器，其中，所述相应的前馈调整改变所述至少一个控制信号的所述幅度或...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔纳森·斯米卡，亚伦·瑞多姆斯基，彼得·保罗，亚伦·贝里，
申请(专利权)人：MKS仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。