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本实用新型涉及一种等离子体放电装置，包含电源、真空容器和设置在真空容器内壁上的支架，具有放置在所述支架上的电极组件，所述电极组件由2个侧电极和至少1个中间电极所组成，所述中间电极为导电金属，所述侧电极分别由导电层、绝缘层和屏蔽金属层叠加而成...
该专利属于常州机电职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过常州机电职业技术学院授权不得商用。

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