【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
双源ECR等离子体源装置，其特征在于，包括真空容器，沿所述真空容器的壳体边部对称设置两个微波放电等离子体源，所述微波放电等离子体源为基于微波电子回旋共振技术ECR的微波ECR等离子体源。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张书锋，宋瑞海，张明志，贾军伟，柴昊，
申请(专利权)人：北京东方计量测试研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。