一种小功率集成微波微等离子体源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环形器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连接。工作时小功率微波输入到平面微带渐变螺旋电感耦合线圈而激励起微波微等离子体。本实用新型专利技术具有频率可调、功率可调、功率源保护以及小型便携等优点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微波等离子体源的
，尤其涉及一种小功率集成微波微等离子体源。
技术介绍
小功率微波微等离子体技术是一项近几年发展起来的集微电子技术、微波技术和等离子体技术于一体的高新技术，它是随着MEMS技术的发展而发展起来的。微等离子体包括直流微等离子体、射频微等离子体和微波微等离子体。当放电空间进一步减小到纳米尺寸时，就成为纳等离子体。由于微电子机械系统(MEMS)具有低损耗、高隔离、体积小、制造成本低、易与1C、MMIC电路集成等特点，通过MEMS工艺可以实现微波等离子体的小功率封装和有源集成。因此将微波等离子体结合MEMS工艺可使等离子体的结构和特性发生巨大 的改变。微波等离子体可广泛应用于新材料、微电子和化学等高科技领域，随着微波等离子体的小型化发展，电路尺寸要求在毫米级、微米级甚至纳米级，以前那种厘米甚至米级的大面积的微波等离子体已不再适用。在微波微等离子体的研究中，小功率微波微等离子体源的结构封装和系统集成是非常重要的两个环节。小功率平面螺旋电感耦合微波微等离子体源就是采用MEMS工艺通过微小功率微波激励起微小尺寸的等离子体，如用不超过I 3瓦的微波功率使气体电离，产本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，包括：锁相环频率合成器（1）；可调衰减器（2），与所述锁相环频率合成器（1）连接；宽带功率放大器（3），与所述可调衰减器（2）连接；环形器（4），与所述宽带功率放大器（3）连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈（6），与所述环行器（4）连接。

【技术特征摘要】
1.一种小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，包括 锁相环频率合成器(I); 可调衰减器(2)，与所述锁相环频率合成器(I)连接； 宽带功率放大器(3)，与所述可调衰减器(2)连接； 环形器(4)，与所述宽带功率放大器(3)连接； 平面微带渐变螺旋电感耦合线圈(6)，与所述环行器(4)连接。2.如权利要求I所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，所述锁相环频率合成器(I)的频率输出范围为2. 3GHz至2. 6GHzο3.如权利要求I所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，所述可调衰减器(2)的衰减范围在_2dB至-17dB。4.如权利要求I所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，所述宽带功率放大器(3)的功率输出范围为+20dBm至+40dBm，峰值功率大于43dBm。5.如权利要求I所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，所述环形器(4)的频率范围为2. 3GHz至2. 5GHz，插入损耗为O. 25dB至O. 3dB,隔离度为20dB至25d...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖斌，王柯乔，黄加华，朱守正，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：实用新型
国别省市：