【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一感应式耦合电浆源设备的天线调整装置，特别是指能控制串联、并联电性连结状态而调整电浆源强弱的天线调整装置。
技术介绍
按，电浆设备使用于制造加工产业中已有相当时间，业界为了满足使用上的需求，在此专业领域仍是陆续研发出各种类型电浆设备以符合市场上需求，近年电浆设备产品及种类已有日益增加的趋势。而本技术所欲针对者，即是针对电浆设备的天线调整装置结构加以探讨改良；习知电浆设备通常通过真空电浆反应器上设置一介电窗，利用介电窗与电浆设备所设 的天线装置感应，使真空室内的真空气体解离产生电浆源；市面上电浆设备结构设计上虽有多种型态，但综观而论，其电浆设备的天线调整装置设计上仍旧存在电浆源强度调整控制方便性不佳的问题，以及难以精准调整制备成品表面处理的均匀度，进而影响加工质量、导致成品不良率提高，增加制造成本的问题与缺憾，因此，电浆设备的天线调整装置目前仍有相当大的改良突破空间存在。
技术实现思路
针对现有技术存在的缺陷和不足，本技术的主要目的在于提供一种感应式耦合电浆源设备的天线调整装置；为达到上述目的，本技术采用以下技术方案一种感应式耦合电浆源设备的天线调整装置，主...
【技术保护点】
一种感应式耦合电浆源设备的天线调整装置，该天线调整装置装设于一既有感应式耦合电浆源设备所设的基座上，电浆源设备包括有一介电窗、一射频电源匹配单元、以及能够提供气体的一气体输入单元；所述的天线调整装置包括：固定基板，通过至少两个连接件设置于电浆源设备基座的顶端，且与基座呈间隔相对的型态；至少两个环圈状天线单元，呈内外间隔配置组设于电浆源设备的基座，该环圈状天线单元包括至少一天线单体，且其中至少一环圈状天线单元须由至少两个天线单体所构成；该天线单体具有缺口部，该缺口部一端与一电性输入端相连接，另一端与一接地端相连接；电性连接部，呈间隔分开的型态，该电性连接部底端组接于天线单体的...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈典廷，刘中平，张咏铭，
申请(专利权)人：帆宣系统科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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