用于等离子体处理系统的感应线圈设备的方法和装置制造方法及图纸

提供了一种用于在基板处理过程中在整个基板上提供等离子体均匀性的等离子体操作系统中的天线设备。该设备包括多个圆形天线组件。该多个圆形天线组件的每个圆形天线组件包括非圆形线圈组。该非圆形线圈组的每个非圆形线圈在方位角方向上偏转预定的角度。该设备还包括用于给所述多个圆形天线组件提供功率的功率发生器组。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于等离子体处理系统的感应线圈设备的方法和装置
技术介绍
等离子体处理的进 展促进了在半导体行业的增长。半导体行业是一个竞争激烈的市场。制造公司能够以更高的产量和更低的成本的处理基板的能力，可给制造公司带来相对于竞争对手的优势。因此，制造公司已经投入时间和资源，以发现提高基板处理的方法和/或设备。一般来说，等离子体处理系统可根据多种设计来构建。例如，等离子体处理系统可设置成感应耦合等离子体(ICP)处理系统。可以通过在等离子体处理腔室的顶部放置平面线圈(例如感应线圈)采用常见的ICP设置，S卩，TCP (变压器耦合等离子体)。基本上，平面感应线圈可以是平面状的天线组件(antenna assembly)。本专利技术所使用的术语，感应线圈是一种装置，其作用类似于变压器，通过在初级线圈中依次开关电流，在等离子体处理气体中感应出随时间变化的电压和电位差，以创建等离子体。然而，在最近几年中，可处理的电子设备类型已变得越来越复杂，并且可能需要更多的过程控制。在一个实施例中，被处理的电子设备可能是更小，并且为了更好的产率需要更精确地控制等离子体参数，例如等离子体密度和在整个基板上的均匀性。因此，用于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：尼尔·马丁·保罗·本杰明，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：
国别省市：