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提供了一种用于在基板处理过程中在整个基板上提供等离子体均匀性的等离子体操作系统中的天线设备。该设备包括多个圆形天线组件。该多个圆形天线组件的每个圆形天线组件包括非圆形线圈组。该非圆形线圈组的每个非圆形线圈在方位角方向上偏转预定的角度。该设备...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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