下载感应式耦合电浆源设备的天线调整装置的技术资料

文档序号:8183969

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本实用新型公开了一种感应式耦合电浆源设备的天线调整装置,该装置装设于一的基座上,包括固定基板;至少两个环圈状天线单元,该环圈状天线单元包括至少一天线单体,且其中至少一环圈状天线单元须由至少两个天线单体所构成,该天线单体具有缺口部以及一电性输...
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