微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置制造方法及图纸

微波导入机构（41）包括：具有将微波发射到腔室内的平面天线（81）的天线部（80）、匹配阻抗用的调谐器（60）、用于将天线部（80）的热散热的散热机构（90），调谐器（60）包括：具有呈筒状的外侧导体（52）和内侧导体（53）成为微波传递路径的一部分的主体（51）、在外侧导体（52）与内侧导体（53）之间能够移动的设置的芯部件（61a、61b）、使得芯部件移动的芯部件驱动部（70），散热机构（90）具有：热量输入端和位于天线部（80）、从热量输入端向散热端输送天线部（80）的热的热管（91）和设置于散热端的散热部（92）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及向进行等离子体处理的腔室内导入微波的微波导入机构、使用这样的微波导入机构的微波等离子体源，和微波等离子体处理装置。
技术介绍
半导体设备或液晶显示装置的制造工序中，为了对半导体晶片或玻璃基板这样的被处理基板实施蚀刻处理或成膜处理等的等离子体处理，使用等离子体蚀刻装置或等离子体CVD成膜装置等的等离子体处理装置。最近，作为这样的等离子体处理装置，能够均匀形成高密度、低电子温度的等离子体的RLSA (Radial Line Slot Antenna)微波等离子处理装置受到关注(例如，专利文献I)。·RLSA微波等离子体处理装置在腔室的上部设置以规定的图案形成多个缝隙的平面天线(Radial Line Slot Antenna),从微波发生源导入的微波从平面天线的缝隙被发射，并且经由在其下设置的电介体形成的微波透过板发射到保持为真空的腔室内，通过该微波电场使得导入腔室内的气体等离子体化，通过如此形成的等离子体处理半导体晶片等的被处理体。此外，提案有微波等离子体处理装置，其具有将微波分配为多个、经由具有上述平面天线的多个天线组件将微波导入腔室内、在腔室内空间合成微波的微波等离子体源(专利文献2)。这种微波等离子体处理装置中，为了进行负荷(等离子体)的阻抗的调整，需要阻抗匹配部(调谐器)。作为这样的阻抗匹配部，已知有使用具有多个芯部件的芯部件调谐器(专利文献3等)。芯部件调谐器，通过管状的外部导体和设置于外部导体内的内部导体形成同轴状的微波传送路径，由在外部导体的内面与内部导体的外面之间的缝隙内设置有沿着内部导体的长度方向自由移动的至少2个电介体形成的芯部件，这些芯部件通过驱动机构移动，由此，进行阻抗调整。由此，能够实现小型、低损失的调谐器。现有技术文献专利文献I :日本特开2007-109457号公报专利文献2 :日本国际公开第2008/013112号小册子专利文献3 :日本特开2003-347808号公报
技术实现思路
但是，这样的微波等离子体源，当投入的微波的电力增大，由于等离子体的热量输入和微波的损失所致的热量，会使得天线或微波透过板的温度升高，由于该热量，芯部件调谐器中的芯部件的移动性有可能受到影响。在此，本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制对于芯部件(slug)移动性的热的影响的微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体装置。本专利技术的第一观点为一种微波导入机构，其设置于微波传送路径，将微波导入腔室内，其中，微波传送路径传送从用于在腔室内形成微波等离子体的微波等离子体源的微波输出部输出的微波，该微波导入机构的特征在于，包括天线部，其具有经由所述微波传送路径将微波发射到所述腔室内的平面天线；调谐器，其设置在所述微波传送路径，调整所述微波传送路径的阻抗；和将所述天线部的热进行散热的散热机构，所述调谐器，包括主体，其为微波传送路径的一部分，具有呈筒状的外侧导体和在外侧导体中同轴地设置的呈筒状的内侧导体；芯部件，其设置于所述外侧导体与所述内侧导体之间，并沿内侧导体的长度方向能够移动，呈环状且包含电介体；和使所述芯部件移动的驱动机构，所述散热机构，包括热管，其具有热量输入端和散热端，所述热量输入端位于所述天线部，将所述天线部的热从所述热量输入端输送到所述散热端；和散热部，其设置在所述热管的所述散热端，将所述散热端的热进行散热。上述第一观点中，所述热管优选设置在所述内侧导体内。此外，所述散热部优选包 括散热器或冷却部件。此外，所述驱动机构包括施加驱动力的驱动部；将来自驱动部的驱动力传达至所述芯部件的驱动传达部；引导所述芯部件的移动的驱动引导部；和将所述芯部件保持在所述驱动传达部的保持部，所述驱动传达部、所述驱动引导部和所述保持部被收容在所述内侧导体的内部。这种情况下，所述驱动机构嵌入所述芯部件的内部，以与所述内侧导体的内周接触的状态在所述内侧导体的内部滑动移动，所述驱动机构包括具有螺纹孔的滑动部件；和在所述内侧导体的内部沿长度方向设置的、由与所述芯部件的所述滑动部件的螺纹孔螺合的螺纹棒形成的芯部件移动轴，通过所述芯部件移动轴和所述滑动部件构成包括螺纹机构的驱动传达部，通过所述滑动部件和所述内侧导体的内周面构成包括滑动引导机构的驱动引导部，所述滑动部件构成所述保持部，所述驱动部具有使所述芯部件移动轴旋转的电动机，通过所述电动机使所述芯部件移动轴旋转，由此使得被所述滑动部件保持的所述芯部件，以所述滑动部件在所述内侧导体的内周被滑动引导的状态被驱动。作为所述滑动部件优选包含具有滑动性的树脂。所述滑动部件通过固定用螺栓被固定于所述芯部件。所述滑动部件的螺纹孔，优选在与由所述固定用螺栓固定的部位对应的部分未形成螺纹。所述滑动部件，在其两端部的外周具有压入用突起，通过压入被固定于所述芯部件，所述滑动部件的螺纹孔在与所述压入用突起对应的部分未形成螺纹。所述热管优选被设置为在所述内侧导体的内部插入贯通(插通)所述滑动部件。根据本专利技术的第二观点，提供一种微波等离子体源，其包括输出微波的微波输出部、将输出的微波传送的微波传送路径和设置于所述微波传送路径并将被传送的微波导入腔室内的微波导入机构，所述微波等离子体源将微波导入所述腔室内并将供给至所述腔室内的气体等离子体化，所述微波等离子体源的特征在于所述微波导入机构包括天线部，其具有经由所述微波传送路径将微波发射到所述腔室内的平面天线；调谐器，其设置在所述微波传送路径，调整所述微波传送路径的阻抗；和将所述天线部的热进行散热的散热机构，所述调谐器，包括主体，其为微波传送路径的一部分，具有呈筒状的外侧导体和在外侧导体中同轴地设置的呈筒状的内侧导体；和芯部件，其设置于所述外侧导体与所述内侧导体之间，并沿内侧导体的长度方向能够移动，呈环状且包含电介体；和使所述芯部件移动的驱动机构，所述散热机构，包括热管，其具有热量输入端和散热端，所述热量输入端位于所述天线部，将所述天线部的热从所述热量输入端输送到所述散热端；和散热部，其设置在所述热管的所述散热端并将所述散热端的热进行散热。根据本专利技术的第三观点，提供一种微波等离子体处理装置，其包括收容被处理基板的腔室；向所述腔室内供给气体的气体供给机构；和微波等离子体源，其将微波导入所述腔室内，并将供给至所述腔室内的气体等离子体化，具有生成微波的微波生成机构、将输出的微波传送的微波传送路径和设置于所述微波传送路径并将被传送的微波导入腔室内的微波导入机构，所述微波等离子体处理装置通过等离子体对所述腔室内的被处理基板实施处理，所述微波等离子体处理装置的特征在于所述微波导入机构包括天线部，其具有经由所述微波传送路径将微波发射至所述腔室内的平面天线；调谐器，其设置于所述微波传送路径并调整所述微波传送路径的阻抗；和将所述天线部的热进行散热的散热机构，所述调谐器，包括主体，其为微波传送路径的一部分，具有 呈筒状的外侧导体和在外侧导体中同轴地设置的呈筒状的内侧导体；芯部件，其设置于所述外侧导体与所述内侧导体之间并沿内侧导体的长度方向能够移动，呈环状且包含电介体；和使所述芯部件移动的驱动机构，所述散热机构，包括热管，其具有热量输入端和散热端，所述热量输入端位于所述天线部，将所述天线部的热从所述热量输入端输送至所述散热端；和散热部，其设置于所述热管的所述散热端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：池田太郎，长田勇辉，河西繁，宫下大幸，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：
国别省市：