一种基于耦合窗辐射的大体积微波等离子体发生装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基于耦合窗辐射的大体积微波等离子体发生装置，属于微波应用技术领域。该发生装置包括包括矩形波导、电感式耦合窗、谐振腔外壳、矩形石英玻璃框、短路活塞、吸收物质和手柄。矩形波导通过电感式耦合窗与谐振腔的一端连通，谐振腔外壳上设有气压测量口、工作气体进气口和工作气体出气口。矩形石英玻璃框置于谐振腔内，其两端部镶嵌在谐振腔的侧壁上，与两侧的谐振腔侧壁形成封闭空间。短路活塞置于谐振腔的另一端，短路活塞与谐振腔外壳成滑动配合。吸收物质固定在短路活塞的前端部，手柄固定在短路活塞的后端部。本装置能够在常温常压下产生大体积的微波等离子体，高效率地制备纳米材料和处理废气尾气。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于耦合窗辐射的大体积微波等离子体发生装置，属于微波应用

技术介绍
材料科学与技术作为21世纪人类三大关键科技之一，在国民经济及国防事业中起到至关重要的作用，而纳米技术的出现则开创了材料科学研究的新时代。与宏观尺寸的材料不同，纳米材料(尺度为O. riOOnm)表面的电子结构和晶体结构发生变化，产生表面效应、小尺寸效应、量子效应、宏观量子隧道效应和界面效应等；并表现出优异的光、电、磁和化学特性，因而在诸多领域有着广阔的应用前景。目前制备纳米材料的方法很多，但各种方法都有其自身客观的缺点。如传统湿法，工艺过程复杂、粒子表面化学状态难以控制、无氧条件很难创造、无法实现连续化和自动化 批量生产；气相-液相法化学活性低、反应速度慢、广谱性差、只能制备少数几种纳米粒子；直流等离子体和介质阻挡放电等离子体法存在电极且其电场具有极性和不均匀性、易使生成的纳米磁性粒子发生链状化而团聚并最终使正负极相连导致电极之间发生击穿现象；化学气相沉积法(CVD)和射频等离子体法温度过高、需要真空条件、而且能耗大。微波等离子体由于具有众多优点，有望合成纯度更高、粒度可控、粒径分布更窄本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于耦合窗辐射的大体积微波等离子体发生装置，其特征在于该等离子体发生装置包括矩形波导、电感式耦合窗、谐振腔外壳、矩形石英玻璃框、短路活塞、吸收物质和手柄；所述的矩形波导通过电感式耦合窗与谐振腔的一端连通，谐振腔外壳上设有气压测量口、工作气体进气口和工作气体出气口；所述的矩形石英玻璃框置于谐振腔内，矩形石英玻璃框的两端部镶嵌在谐振腔的侧壁上，矩形石英玻璃框与两侧的谐振腔侧壁形成封闭空间；所述的短路活塞置于谐振腔的另一端，短路活塞与谐振腔外壳成滑动配合；所述的吸收物质固定在短路活塞的前端部，并位于谐振腔内，所述的手柄固定在短路活塞的后端部，并位于谐振腔外。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王仲，张贵新，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：