【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及ー种获得电离金属蒸气的方法，它在真空条件下用感应加热的方法使固态金属熔化成液态，再由液态变成金属蒸气，其更大的优点在于以此蒸气为介质点燃金属蒸气成电弧，利用电弧输入的能量使金属蒸气离化成电离的金属蒸气等离子体，又由于本专利技术属于真空低气压等离子体产生的方法，只要采用エ业规范的大功率感应加热和大功率电弧电源，属于エ业用真空低气压等离子体产生方法的
技术介绍
本专利技术属于真空高密度金属等离子体的产生方法，目前公知的这方面技术比较少，与本专利技术比较接近的技术往往已存在很大差別，通过检索国内、外专利文献，及网上搜索审核，本专利技术比诸多
技术介绍
具有更大创新性和优点，主要引证如下 200810137009“基于中心对称型的大面积金属等离子体形成装置及方法。”申请人:哈尔滨エ业大学专利技术人王浪平、王峰、黄磊本专利技术的目的是针对磁过滤阴极真空弧的引出口径较小难于实现对大尺寸零件处理的问题安于真空室侧壁，4-6个一体式脉冲阴极弧源。属于冷阴极弧源，产生的金属等离子体较稀薄，用于常规真空离子镀膜，与本专利技术产生的大功率高密度真空等离子体有本...
【技术保护点】
一种获得电离金属蒸气的方法，用感应加热的方法使金属变成蒸气，其特征是以该蒸气为介质点燃金属蒸气电弧，使之转变成电离的金属蒸气等离子体。
【技术特征摘要】
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