使用水蒸气中和离子束的系统和方法技术方案

本发明专利技术提供了一种改进的离子束中和器（２２），用于中和由离子源（１２）的提取口（５０）输出的离子束（２８）的电荷。中和器包括水源（５２）；连接到水源的汽化器（５４）；连接到汽化器的质量流量控制器（５６）；连接到质量流量控制器的入口（６０）。入口（６０）提供有紧邻离子束提取口（５０）的注射口（６８），这种改进的离子束中和器在低能（小于十千电子伏特（１０ＫｅＶ））的束应用中特别有效。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种离子束中和器（２２），用于中和由离子源（１２）的提取口（５０）输出的离子束（２８）的电荷，包括： 水源（５２）； 汽化器（５４），连接到所述水源（５２），用于将所述水源（５２）的水由液态转换为气态； 质量流量控制器（５６），连接到所述汽化器（５４）并具有入口（６４）和出口（６６），所述质量控制器用于计量由所述出口（６６）输出的水蒸气的体积；以及 注射口（６８），连接到所述质量流量控制器的出口（６６），用于接收所述出口的计量后的输出，所述注射口紧邻所述离子束提取口（５０），由此所述离子束与所述水蒸气相互作用中和离子束。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：VM本文尼斯特，F辛克莱尔，陈炯，
申请(专利权)人：艾克塞利斯技术公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]