【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体测量，特别涉及。
技术介绍
在部分工业过程气体检测中，需要测量混合气体中的水蒸气含量。目前，质谱仪在测量碎片系数及建模过程中，由于无法获得有效的水蒸气标气而无法建立有效的水蒸气定量模型。如下表格给出了为创建定量曲线的界面。权利要求1.一种水蒸气的测量装置，包括质谱仪，所述测量装置还包括 第一气体气源，所述第一气体气源连通质谱仪； 第二气体气源，所述第二气体气源连通储水容器内部及所述质谱仪； 储水容器，所述储水容器具有进口和出口，所述进ロ连通所述第二气体气源，所述出ロ连通所述质谱仪； 第一计算模块，所述第一计算模块用于根据所述质谱仪传送来的对应于第二气体的离子信号強度得出水蒸气浓度； 模型建立模块，所述模型建立模块用于根据第一计算模块得出的水蒸气浓度、质谱仪传送来的对应于水蒸气的离子信号強度得出水蒸气浓度的測量模型； 第二计算模块，所述第二计算模块用于根据质谱仪传送来的对应于待测水蒸气的离子信号強度、所述测量模型得出待测水蒸气的浓度。2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于所述测量装置进ー步包括 伴热模块，所述伴热模块设置在所述...
【技术保护点】
一种水蒸气的测量装置，包括质谱仪，所述测量装置还包括：第一气体气源，所述第一气体气源连通质谱仪；第二气体气源，所述第二气体气源连通储水容器内部及所述质谱仪；储水容器，所述储水容器具有进口和出口，所述进口连通所述第二气体气源，所述出口连通所述质谱仪；第一计算模块，所述第一计算模块用于根据所述质谱仪传送来的对应于第二气体的离子信号强度得出水蒸气浓度；模型建立模块，所述模型建立模块用于根据第一计算模块得出的水蒸气浓度、质谱仪传送来的对应于水蒸气的离子信号强度得出水蒸气浓度的测量模型；第二计算模块，所述第二计算模块用于根据质谱仪传送来的对应于待测水蒸气的离子信号强度、所述测量模型得出待测水蒸气的浓度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张进伟，郑利武，张飞，陈生龙，顾海涛，
申请(专利权)人：聚光科技杭州股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。